EFEM×株式会社リバティー - メーカー・企業と製品の一覧

EFEM（Equipment Front End Module）

EFEM（Equipment Front End Module）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット：　150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）

• 企業：株式会社リバティー
• 価格：応相談

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置