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薄膜光学特性を非破壊で測定！ 手軽に高精度測定できる分光エリプソメトリー
日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。 薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率（N,K値）波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。 【測定可能な物理特性】 ■厚さ光学屈折率 ■屈折率の勾配と材料組成 ■ドーパント濃度
赤外分光エリプソメトリー
- FTIR測定においても、偏光しているので、より多くの情報をとることが可能です。 - レファレンス測定が必要ないので高速に測定が可能です。
薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。【アルバック／ULVAC】
UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。 【仕様】 ○高速測定 →独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現 ○可視分光対応 →波長範囲は標準タイプ（530nm〜750nm）および 可視分光タイプ(380nm〜760nm）から選択できる ○コンパクトなセンサユニット →投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており 非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要ない ○豊富なラインアップ →ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動／自動ステージタイプや 大型基板タイプ、大気／真空環境に対応した装置ビルトインタイプ など、多様な用途に対応したラインアップを用意している 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
多層膜の膜厚・屈折率を非接触で高精度測定。本体の操作や解析作業が容易 ※デモ可能＆技術資料進呈
『SE-2000』は、薄膜の膜厚・屈折率を“非接触”で高精度に測定できる回転補償子型の分光エリプソメータです。 ユーザーフレンドリーな解析ソフトを備えており、解析作業が容易。 深紫外から近赤外領域まで幅色い波長領域の測定に対応しています。 材料の組成比、異方性、Mueller Matrix、偏光解消度、反射率・透過率、ドーパント濃度、 リタデーション(R0、Rth)などに関する検査にも対応しており、幅色い用途で活用可能です。 【特長】 ■高精度CCD、高分解能PMT搭載 ■光学モデルのデータベースが豊富 ■多彩な拡張オプション ■販売実績が多数 〈 セミナー詳細 〉 ■テーマ：分光エリプソメータ 解析モデル作成手順の説明～初級編～ ■開催日時 ・4/22(木) 10:00～ ・5/13(木) 16:00～ ■内容 一般的な構造のサンプルを例にして、解析モデルの作成手順をご説明します。 有効媒質近似モデル、Cauchyモデル、Tauc-Lorentzモデルを使用した解析の説明。 ※参加方法は、当社ホームページ（下記リンク）でご確認ください。
偏光・エリプソメーター・ブリュースター角など！図やグラフと共に分かりやすくご紹介。デモ可能
当資料は、分光エリプソメーターの測定原理についてご紹介しています。 電場および磁場の振動方向が規則的な光のことをいう「偏光」をはじめ、 エリプソメーターの原理、光学干渉についてなどを掲載。 図やグラフと共に分かりやすくご紹介しているので、ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■偏光とは ■サンプル表面の変更 ■エリプソメーターとは ■エリプソメーターの原理 ■ブリュースター角とは 〈 ウェビナーを開催いたします！※詳細 〉 ■テーマ：分光エリプソメータ 解析モデル作成手順の説明～初級編～ ■開催日時 ・4/22(木) 10:00～ ・5/13(木) 16:00～ ■内容 一般的な構造のサンプルを例にして、解析モデルの作成手順をご説明します。 有効媒質近似モデル、Cauchyモデル、Tauc-Lorentzモデルを使用した解析の説明。 ■ご参加について 当社ホームページ（下記リンク）でご確認ください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※デモのご希望の方は、下記お問い合わせボタンより”デモ希望”と記載ください。
解析波長190nm(DUV)~3,500nm(NIR)、ユーザー要求に応じた波長で膜厚と光学定数の解析が行えます。
回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の方式を採用した分光エリプソメーターです。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、長年ご利用いただいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に便利な[対話モード]と繰り返し測定に適した[レシピモード]があります。また、膜厚の均一性評価に役立つ膜厚分布の自動測定も行えます。
Auto SEによる膜厚・光学定数測定 初回3サンプルまで無料で実施！！
■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ 11月中にお申込いただいたお客様限定！！ Auto SEによる分光エリプソメトリ測定(膜厚・光学定数測定)を 初回3サンプルまで無償で測定を実施いたします。 ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ 新規開発の光学モデルによりDLCの膜質評価を非破壊・非接触で行います。 各種製法により成膜された水素を含有するDLCから、水素フリーDLCまで瞬時に非破壊測定を行い、膜厚・光学定数(屈折率・消衰係数)の算出ができます。 簡単な操作で、1nm～15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 XYZ電動ステージによる面分析や、100μm以下の微小エリアの測定ができます。 イメージングシステムにより、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。 【詳しくはカタログダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください】
