サファイア自動検査機
検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能
サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。 ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業:株式会社アイティ・テック
- 価格:応相談
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検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能
サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。 ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。 1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スロープットを実現。 25枚の収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後、検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。
洗浄後基板の異物検査やガラス基板の内部欠陥検査、透明電極パターンの測長検査などに最適
多様化する産業界の各種製品のパネル基板やフィルム、半導体部品の 微少欠陥を最新のラインセンサ外観検査システムで検査します。 最新の光アライアンス技術によりメカニカル・オプチカル・画像処理を融合し、 独自な高速/高精度検査機を提案します。 この外観検査機はミクロからマクロまでの検査ユニットを搭載して各種検査への 対応と、複合機能で検査とレビューや加工、調整などのユニットを目的に合わせて 構築することができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。