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皆様はパーティクル プリカーサー（Particle Precursor）についてご存じでしょうか。 半導体の歩留まり（yield）を高めるうえでゴミや汚れを取り除く洗浄工程（Cleaning）は極めて重要であり、ファウンドリーでは洗浄に使用するUPWや薬液が綺麗であることをマストで管理しております。 今までは液中粒子（Particles）が歩留まり低下の要因とされ「20nmの粒がいくつ以下で」などと管理をしてきたのですが、ここ最近は粒子ではなくUPWや薬液に溶け潜み乾燥したら現れるコンタミが歩留まりに悪影響を与えていることが知られております。「液中ではカウントできなかったのに、ウエハ上ではベターっとシミのように存在を現す、、、」そのコンタミをパーティクルプリカーサーと言います。 微細化、集積化という言葉が飛び交う中、UPW（超純水）や薬液（IPA、水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸、PGME）中のパーティクルやプリカーサー管理にご興味を頂いたファウンドリー及びサプライヤーの皆様は一度お問い合わせくださいませ。
『Focus LC』は、コンパクト・軽量・そしてパワフルな"in-situ" HPLCです。 据え置き型HPLCと同等の性能を可搬型で実現しました。 使用する溶媒は、1週間あたり10mL未満と使用量・廃液量が極めて少なく、 電気消費量は汎用LCのわずか数分の1。 溶媒使用量、電気使用量など環境に配慮した高感度な製品です。 【特長】 ■溶媒消費量が極めて少なく"環境に配慮した"HPLC ■高圧グラジエント ■内蔵バッテリーで6～10時間の分析が可能 ■わずか8kgのコンパクト設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型でありながら高い質量分解能を達成！ マルチターン飛行時間型質量分析装置 【用途】 ■オンサイトガス分析 プロセスガス、燃焼ガス、排ガス等のリアルタイムモニタリング ■材料分析 各種材料等の発生・離脱・熱分解等のガスの高分解能・精密質量分析 ■環境分析 インフィールドでのリアルタイム大気分析、 高分解能が必要なダイオキシン分析 ■未知成分の解析 高分解能・精密質量解析による未知成分の定性分析 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。
本資料は、当社が取り扱う｢粒子計測・分析機器｣の総合カタログです。 当社では、粒子を質量基準で分級することのできる質量分級装置や、 100nmの粒子を大気圧下で分級できるナノサンプラーなどを開発しています。 【掲載内容】 ■ブラックカーボン測定器 ■粒子捕集器 ■粒径／質量分級器 ■粒子測定器 ■希釈器 ■高分解飛行時間型質量分析計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
材料を加熱した際に材料から脱離する、あるいは熱分解により生成する ガスの挙動を解析することにより、材料へのガス吸着・化学吸着の 状態や材料の熱特性を把握することが可能です。 材料や製品は様々な条件にさらされることによってガスを発生します。 このガスは、場合によっては人体に影響を与えたり、製品の品質・性能に 不具合を引き起こしたりと、微量でもトラブルの原因になる場合もあります。 「infiTOF-UHV」を用いれば、高分解モードでの脱離ガス挙動把握が 可能になります。 【特長（infiTOF-UHV）】 ■マルチターンTOFアナライザ ■高分解能によるリアルタイム分析 分解能>30,000 ■ガス分析に好適 測定域 m/z 1～1,000 ■卓上サイズでどこでも設置・どこでも測定 ■駆動電源は100～230 VAC,500Wと場所を選ばず省エネを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。 また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。 プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分を リアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、 さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。 高分解能を有し、リアルタイム測定が可能な質量分析装置であるカノマックスの『infiTOF』は、より高品質な製品の研究・開発・製造をサポートします。 【ソリューション】 ■プロセスガスのリアルタイム測定 ■現場測定に対応したポータビリティー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Fast CPC(MODEL 3650)』は、速い応答速度で、急速に変化するエアロゾルの 濃度計測や電気移動度粒径分布測定に対応できる理想的な装置です。 従来の方法と同様な過飽和アルコール蒸気の中で粒子を凝縮成長させる方法に加え、 コンデンサー部でラミナーフローによる蒸気の拡散を防止することで、最小1.9nmの ナノサイズ粒子を核にした、ミクロンサイズの液滴に成長させます。 そしてその液滴は光散乱を利用することによって検出、カウントされます。 【特長】 ■小型・堅牢でフィールド計測にも好適 ■振動や圧力変化に強く、モバイル計測も可能 ■流量計とポンプ内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ナノエアロゾルジェネレーター(NAG) MODEL3250』は、ピーク径、 550nm未満の液滴を発生させることができる、新しいネブライザーです。 噴霧された液滴のサイズを最小化するように液滴衝突板を設けることで 非揮発性(残渣)のコーティングを減らすことを実現しました。 そのため、発生したエアロゾル粒子中の非揮発性残渣を小さくすることが できます。 【特長】 ■ピーク径550nm未満の液滴を少量のサンプルで発生可能 ■液滴中の非揮発性残渣の影響を小さくすることが可能 ■荷電中和器、放電用コロナ、放射線源が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『PAMS』は脱着式チャージ搭載によりメンテナス性が向上したポータブル 粒度分布測定器です。 PC不要、バッテリー駆動のためコンパクトで持ち運びが簡単。 ワイドレンジと高分解能の2つのレンジで粒径分布を測定できます。 両極荷電方式による中和器の採用で、放射性物質が不要です。 【特長】 ■脱着式チャージ搭載 ■メンテナス性が向上 ■コンパクトで持ち運びが簡単 ■2つのレンジで粒径分布を測定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社は粒子を質量基準で分級することのできる質量分級装置や、100nmの 粒子を大気圧下で分級できるナノサンプラーなどの機器を開発しています。 『分級・測定・発生装置 製品カタログ』では、「ブラックカーボン測定器」 をはじめ、「粒子捕集器」や「粒径/ 質量分級器」などを掲載しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■ブラックカーボン測定器 ■粒子捕集器 ■粒径/ 質量分級器 ■粒子測定器 ■粒子発生器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ナノサンプラーII』は大気圧で0.1μmを分級できるナノサンプラーです。 PM0.1の分級サンプリングには、一般的にLPIが用いられていますが、 LPIでは装置内を真空近くまで減圧しなければならず、捕集時の粒径や組成の 変化が懸念されます。 当製品のPM0.1のステージでは減圧することなく、低圧力損失で、一度に 大量のサンプリングすることが可能です。 サンプル流量は40L/min。これにより短時間で、秤量、分析に十分な サンプル量を捕集することが可能です。 【特長】 ■PM0.1のステージでは減圧することなく、低圧力損失 ■一度に大量のサンプリングすることが可能 ■短時間で、秤量、分析に十分なサンプル量を捕集することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ハンドヘルCPC』は、最小粒径15nmからの粒子を検出する携帯型凝縮粒子 カウンターです。 計測データを本体に保存できるほかに、専用ソフトウェアによる 計測制御も可能です。 エンジン排ガス、大気環境、室内環境の測定だけではなく、クリーンルーム内の 超微粒子計測にもご使用可能です。 【特長】 ■最小粒径15nmからの粒子を検出 ■計測データを本体に保存できる ■クリーンルーム内の超微粒子計測にも使用可能 ■電池駆動で5時間測定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ブラックカーボンモニター（BCM）』は、大気中のブラックカーボンを 熱抽出度して連続的にフィルタ上に補集し、それによる光吸収量の変化を フォトダイオードで検出することにより濃度を測定します。 フィルタの自動送りにより、長期間に渡る連続測定が可能。 遠隔地から拡散してくるブラックカーボンの調査・監視などに好適です。 【特長】 ■長期間に渡る連続測定が可能 ■サンプルエアの前処理により測定精度向上を実現 ■大気中のブラックカーボン濃度をリアルタイムで測定 ■高い検出感度で、低濃域の測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『TDC584』は、ISO16890-4に準拠した、エアフィルタの無帯電化装置です。 少量のイソプロピルアルコール(IPA)を用い、短時間で作業を行うことが できます。 この無帯電化により、静電気力による捕集力を無効化します。 当製品は2019年発行の【JIS B9908】に対応しています。 【特長】 ■2019年発行の【JIS B9908】に対応 ■ISO16890-4に準拠したフィルタの除電装置 ■少量のIPAを用い、短時間で作業を行うことが可能 ■洗浄と排気を一体化したことによる安全な取扱が可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LAP340』は、ISO16980に準拠した、エアフィルタの捕集効率評価に好適な 装置です。 粒径範囲0.3μmから10μmを16チャンネルに分割できます。 サンプリング流量が28.3L/minと高流量であり、評価時間を短縮することが 可能です。 当製品は2019年発行の【JIS B9908】に対応しています。 【特長】 ■2019年発行の【JIS B9908】に対応 ■可測定粒径範囲は0.3から10μm、16チャンネルに分割可能 ■サンプリング流量は28.3L/minと高流量 ■最大可測濃度は980,000個/cf （35個/cm3） ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『SAG440』はISO16980に準拠した、負荷粉じんの発生に好適な装置です。 連続・長期間の発生が可能な他、JIS Z 8901に記載されている 試験用粉体11種やASHRAE52.2ダストの発生が可能です。 当製品は2019年発行の【JIS B9908】に対応しています。 【特長】 ■ISO16980に準拠した負荷粉じん発生装置 ■ステッピングモータ技術を駆使した安定した高濃度な粉体の発生が可能 ■連続・長期間の発生が可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Model3216』は薬物・化学物質・粉じん等の動物曝露実験をはじめ、 フィルタ・蛍光灯・事務機器・その他の機器の対粉じん性能試験等に必要な 標準粒子を長時間安定して発生させる粒子発生装置です。 Model3211のグレードアップ器種として開発されたもので、スクリュー・フィーダの ピッチや太さに新趣向を凝らすと共に、試料粉体とガラスビーズの混合比に 工夫を施し、大量の粒子を安定に発生させることができます。 標準粒子を必要とするさまざまな分野で、ご活用頂けます。 当製品は2019年発行の【JIS B9908】に対応しています。 【特長】 ■2019年発行の【JIS B9908】に対応 ■さまざなまダスト試料分析 ■長時間の連続運転可能 ■粉体試料固有の分散状態で発生可能 ■発生するダスト濃度の変動幅が小さく、極めて安定 ■濃度レベルも簡単にコントロール可能 ■試料の粒径分布の変化に対しても、発生した粒子の粒径分布は安定 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『DT-IMS(Model 3006)』は、ドリフトチューブ式イオンモビリティ 粒度分布測定器です。 【特徴】 •分級範囲 2.0 ~40 nm •高分解能 (Zp/∆Zp) >20 (２~ 10 nm) •分級時間 2.0~10nm 10秒未満、2.0~40nm 60秒 •タッチパネル式カラーLCD用途 •コロイド状サンプルの高スループット噴霧を通じた分析 •粒子の生成や燃焼プロセスなどの特性評価 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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