エボルシオンの製品・サービス一覧

当社は、主に純水や薬液用バルブの設計・販売などを行っている会社です。 薬液・純水用フィッティングやテフロンコーティング、PFA・PTFEフレキ チュ－ブ、フッ素樹脂収縮チュ－ブなど、多岐に渡る製品を取り扱っており、 自社製品としましては、薬液・純水用バルブ、PFAチュ－ブ関連、薬液・ 純水用フィルターなどがあります。 純水及び薬液用バルブのことならぜひ当社へお任せください。 【事業内容】 ■純水・薬液用バルブ設計・販売 ■テフロンチューブ加工品製造販売及びテフロン溶接・溶着製造販売 ■純水・薬液用フィルター販売 ■バルブBOX製造販売 ■各種配管部品販売 ■樹脂・金属加工品販売 ■石英槽・石英加工部品製造販売 ■シリコンウェハ関連品販売 ■洗浄関連治具製造販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 配管部品
• フィルター
• バルブ・継手

耐熱・耐寒性がすぐれています。 ほとんどの化学薬品・溶剤に対して不活性です。 耐候性にすぐれ経年変化がありません。 ほとんどのものが付着しにくく、たとえ付着しても容易にとれます。 不燃性です。 電気的特性がすぐれています。 有毒物質溶出のおそれがありません。 色：半透明

• チューブ

特徴: ●耐熱温度は150℃です。 ●屈曲疲労寿命が抜群です。 ●殆ど全ての薬品に耐え、ストレスラック耐久性にも優れています。 　 ●波形部の長さを50％に縮めたり、140％迄伸ばせます。 ●化学的に不活性ですから、液体を汚染しません。 ●極めて柔軟で、曲げ半径は内径の約1/4です。 ●チューブ内の液体がよく見えます。 ●10-3Torrの真空下で使用できます。 ●振動や衝撃を吸収します。　

• チューブ

プッシュスライドタイプで、ほぼ全てのキャリアに対応しています。特殊キャリアの場合はご相談ください。 6インチと8インチは兼用のタイプもございます。 アルミ製、PVC製その他対応致します。 傾斜型の移載器もございます。 その他特殊品も対応致しますのでお問合わせください。

• その他半導体製造装置

①継手を少なくすることでリークの危険性を抑えます。 ②流路がスムーズで絞りが無いため圧力損失も少なく高流量が確保できます。 ③液溜まりがありません。 ④配管スペースを大幅に削減できます。 ⑤配管工数も大幅に削減できます。 ⑥トータルコストダウンが可能です。 ⑦L型、U型、Z型の他三次元形状も対応可能です。

• チューブ

1/4inch～1inchの各サイズ、各継手に対応しています。 独自の方式により、外部リークに対する安全性とダイアフラムの強度を高めています。 インジケーターにより動作が目視にて確認できます。 フラットシールにすることで発塵を抑えています。 接液部は全てフッ素樹脂です。詳しくはお問合わせ、資料をご請求ください。

• バルブ

1/4inch～1inchの各サイズ、各継手に対応しています。 独自の方式により、外部リークに対する安全性とダイアフラムの強度を高めています。 インジケーターにより動作が目視にて確認できます。 フラットシールにすることで発塵を抑えています。 接液部は全てフッ素樹脂です。詳しくはお問合わせ、資料をご請求ください。

• バルブ