【仕様】 〔カメラ部〕 ■有効画素数：80万画素～500万画素 ■撮像素子：1/3型～2/3型 CCD ■インターフェース：IEEE std 394b、カメラリンク、USB3.0 〔レンズ部〕 ■レンズ：テレセントリックレンズ、マクロレンズ　等 ■倍率：0.1倍～10倍 ■焦点距離（WD）：55ｍｍ～342ｍｍ ■被写界深度：0.02mm～33.5mm ■光学的分解能：1.5μm～ ■視野角：0.71×0.87mm～71×87mm 〔照明部〕 ■照明部：LED照明 〔XYステージ部〕 ■インターフェース：USB、RS232C、デジタル入出力 ■移動量：300mm×300ｍｍ ■位置決め精度：±20μm ■最大移動速度：20mm／sec 〔被写体ワーク〕 ■検査タクト：0.7秒／1レンズ～ ■検出可能欠陥：傷、膜抜け、異物など 〔自動検査ソフト〕 ■画像処理：あり ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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