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【仕様】 ■ウェハスペック：5インチ 210～600μm ■カセット：50枚 ピッチ：2.38mm PFA ■カセットチャージ：4カセット/8カセット ■ホルダー：200～220スロット ピッチ：2.38mm ■チャージ数：200枚 ■スループット：15分/200枚 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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