東光高岳の製品・サービス一覧

『HVI-S10000C』は、計測範囲160×136mmでバンプ除去不要の 広視野温度可変反り検査装置です。 共焦点法を用いており、サンプルへの塗装や部品を除去する必要がなく、 バンプ高さ、コブラナリティに加え、基板の変形も同時に高精度な検査を実現。 Zステージに設けられたナノ分解能のリアルスケールにより、 シャッタのタイミングが制御されるため、高速でありながら正確な Z位置でのデータ取得が可能です。 【特長】 ■広視野&高速 ■バンプ除去不要 ■塗装処理不要 ■計測範囲160×136mm ■対流加熱式でリフロープロセスを再現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 外観検査装置

当カタログではお客様のニーズにお応えする検査機器をご紹介しております。 独自方式で基板収納状態に追従した三次元計測を実現する 「TVIシリーズ」や、高精度検査性能を保ちながら高速で個片基板検査が 可能な「CVIシリーズ」などを掲載。 当社の製品は独自の共焦点光学系センサを採用し、計測時間を短縮化して インライン計測を可能とする高速性を実現しました。 【掲載内容】 ■イントレイタイプ インラインバンプ検査装置 ■インデックスタイプ インラインバンプ検査装置 ■インラインバンプ検査装置 ■温度可変反り検査装置 ■マルチビーム共焦点センサ ■三次元センサ仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 基板検査装置