『プローブカードアナライザ』は、画像処理と独自の補正方法により、 umオーダーの位置決め、測定精度を実現した検査装置です。 針個別にコンタクト測定を行うため、基板内で他の針とショートされた 針も正しく測定可能。 またソフトウェアによる回転・オフセット補正機能により、ワークセット時に 基準合わせなどの調整が不要で、取り付け後すぐに検査を開始できます。 【特長】 ■計測チャネル数は最大500 ■検査対象エリアは150mm角 ■複数DUT大型タイプの基板にも対応 ■シンプルで使いやすい操作画面 ■検査データ・画像処理手順の作成が容易 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。

• 基板検査装置