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当社では、フォトリソやインプラ、エッチングなどの「半導体製造装置部品」 を取り扱っております。 干渉フィルタやカバーグラス、インプットレンズなど各種光学部品を はじめ、クランプリング(Ti, SUS)、リフトフープやインナーシールド、 マグネット再生などのパーツもご用意。 その他、光学検査機器・測定機器・解析機器などのご提供や装置メンテナンス、 改造、設計、製作などお客様のご要望を形にする技術相談等も承っております。 【半導体製造装置部品 取扱製品(一部)】 ■フォトリソ ■インプラ ■エッチング ■スパッタ ■CVD ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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