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半導体材料の金属除去はお任せ! 半導体薬液用メタル除去フィルター

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■IonGardシリーズ ■Nylonpolar/Purifier■Chemdeion Purifier

最終更新日:2022年11月28日

日本コベッタ株式会社
日本コベッタ株式会社
  • 公式サイト

【脱メタル】フォトケミカルの安定性に配慮!様々な要求レベルの金属低減を実現!キレートタイプや非イオン交換型Purifierを追加

イオン交換型Purifierにおける薬液精製では酸の発生によるリスクが懸念として残っていました。これらは化学増幅型レジストの品質を劣化させるリスクのある問題点です。 第1弾として液-液交換による金属除去メカニズムを持つNylon基膜に官能基を修飾したNylonpolarを発表しましたが、第二弾としてキレート構造による金属除去とイオン交換による発生した酸を即座に除去する機構を持つ金属除去Purifierを開発、上梓しました。 Cobetterでは、メタル除去に関する幅広いソリューションをユーザー様に提供すべく、新たな視点での金属除去機構を兼ね備えたPurifierを引き続き開発していきます。 メタル低減がうまく達成できない、イオン交換による酸発生の悪影響で薬液安定性に対する懸念が払拭できないなど、薬液精製に新しいソリューションを適用されたい方は必見です。 全ての金属に万能な金属除去性能を発揮するPurifierを探すことは至難の業ですが、ソリューションの引き出しを多く持っておくことを強く推奨いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    固液分離フィルタろ過装置
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半導体材料の金属除去はお任せ! 半導体薬液用メタル除去フィルター

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  • 関連リンク - https://www.cobetterfiltration.com/Industries/Micr…

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基本情報

【SEMICON Japan出展のご案内】 ■日程 2022年12月14日(水) ~ 2022年12月16日(金) ■時間 10:00 ~ 17:00 ■小間番号 2930 ■会場 東京ビッグサイト 東展示棟 【金属除去Purifierラインナップ】 ■IonGardシリーズ(MGA, MGD, MGS, IXE) ■Nylonpolar Purifier(2S, 2D) ■Chemdeion Purifier(CHP) ■IonGard Chelate Purifier(MGC) 【NEW】 ■IonGard DC Purifier(MGS2M) 【NEW】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

■IonGardシリーズ  純水、強アルカリ、強酸 ■Nylonpolar/Purifier  有機溶剤、フォトレジスト ■Chemdeion Purifier

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半導体薬液用メタル除去フィルター

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IonGard Aqua Purifier (MGA)

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Chemdeion(CHP)

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日本コベッタ株式会社

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電子部品・半導体

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Cobetterは、各種精密濾過膜、ナノファイバー、限外濾過膜の研究開発により、世界中の半導体集積回路製造およびバイオ製薬産業に革新的な濾過・精製ソリューションを提供する世界最先端の新規技術を有する会社です。 中国は浙江省杭州に本社を置き、中国上海、日本、韓国、台湾、シンガポールの5箇所に子会社を置き、106カ国にわたる28000社以上の顧客にサービスを提供しております。日本コベッタは2019年2月に設立された小会社の一つであります。 現在、従業員4000人以上でその1000人以上はエンジニアが占め、現在十数種類以上の革新的濾過材を独自に開発し、300件以上の特許技術を所有しております。また、濾過材料の開発に加え、多様な用途に適したフィルタパッケージの開発、シングルユースバック(2D/3D)、クリーンドラムなど流体処理製品の生産からSUSハウジング、ろ過システムの設計・製造・検証まで一貫した濾過・分離産業チェーンを備えています。

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