卓越した高安定、高分解能測定を実現した静電容量式
高安定・高分解能非接触変位計
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基本情報
【特徴】 ○直線性0.05% of FS ○高分解能 最高0.3nm rms ○本体、プローブともに小型 ○変位に比例した電圧を出力 ○卓越した高安定 ○高分解能測定 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○標準プローブ各種 ○精密ステージの位置検出・姿勢制御 ○平面度、厚さ測定に最適
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企業情報
「パワーエレクトロニクス一気通貫。デバイス評価から装置検証まで」をテーマに、パワーエレクトロニクス計測に全力を注いでいます。 世界を駆け巡るセールエンジニアがお客様の問題解決に役立ちます。 ご相談を心からお待ち申し上げています。