株式会社エスクラフト
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各アッシング条件の管理を行うことができる
表面改質を行うことができる
素子へのチャージアップダメージを低減して、プラズマ着火時の問題を解決できる
プラズマ整合の高速化を実現して、処理時間を短縮することができる
灰化除去(アッシング)を低ダメージで行うことができる
バッチ式の処理方式を採用しており、一度に複数のウエハーを処理することができる
小型で省スペース化されているため、設置場所の問題を解決できる
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S
株式会社エスクラフト
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