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SiCパワーデバイスの性能向上に必要なゲート酸化膜の評価
電力損失を抑えるためのゲート酸化膜の膜厚評価
小型で大電力を扱うためのゲート酸化膜の結合状態評価
電力変換素子の性能向上に必要なゲート酸化膜の結合状態評価
電力損失を抑えるためのゲート酸化膜の密度評価
小型で大電力を扱うためのゲート酸化膜の密度評価
電力変換素子の性能向上に必要なゲート酸化膜の評価
上記以外
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【分析事例】SiC基板のゲート酸化膜評価_C0281
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