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アニールによる結晶性の回復度合いの評価
N2の検出によるダメージ評価
照射欠陥の有無の確認
結晶構造の乱れの検出
格子間Nの検出によるダメージ評価
イオン注入によるGaN基板のダメージ評価
LEDの照明効果の評価
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
【分析事例】XAFSによるGaNのイオン注入ダメージ評価
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