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界面の不均一性が問題となってしまう
メモリのデータが消失してしまう
深さ方向の情報が欠如してしまう
界面位置の特定が困難となってしまう
LSIの信頼性が低下してしまう
酸化物半導体の性能が低下してしまう
異種材料の結合状態が不明瞭となってしまう
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
界面および深さ方向分解能について_B0243
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