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感光体・光デバイスの研究開発における成膜作業の均一化
薄膜固体二次電池の研究開発における成膜テストの多様化
感光体・光デバイスの研究開発における成膜作業の高精度化
薄膜固体二次電池の研究開発における後処理作業の簡略化
化合物半導体の研究開発における成膜テストの迅速化
低融点材料の成膜における高い成膜効率の実現
化合物半導体の研究開発における成膜作業の柔軟性の向上
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
大気非暴露型多元スパッタ装置（薄膜固体二次電池研究用）
神港精機株式会社
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