神港精機株式会社
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半導体製造装置部品表面のイットリアコーティングによる耐プラズマ性向上
半導体製造装置部品表面のTiNコーティングによる耐摩耗性向上
耐熱性部品表面のイットリアコーティングによる耐熱性向上
新たな表面処理の用途開拓による製品の多様化
半導体製造装置部品表面のTiCコーティングによる耐摩耗性向上
半導体製造装置部品表面のCrNコーティングによる耐摩耗性向上
その他の成膜対応による特定部品の表面処理
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
ALNコーティング装置（アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置）
神港精機株式会社
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