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半導体製造装置部品表面のSiCコーティングによる耐プラズマ性向上
精密金型のSiCコーティングによる耐酸化性向上
半導体製造装置部品表面のTiCコーティングによる耐摩耗性向上
耐酸化性表面処理のSiCコーティングによる耐酸化性向上
その他の成膜対応による特定部品の表面処理
半導体製造装置部品表面のイットリアコーティングによる耐プラズマ性向上
半導体製造装置部品表面のCrNコーティングによる耐摩耗性向上
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
ALNコーティング装置（アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置）
神港精機株式会社
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