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製品の品質が低下してしまう
膜質が低下してしまう
ウエハサイズが限られてしまう
成膜速度が遅くなってしまう
複雑なプロセスが必要となってしまう
処理時間が長くなってしまう
薄膜の均一性が欠けてしまう
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
【英語版】プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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