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複雑なプロセスが必要となってしまう
ウエハサイズが限られてしまう
薄膜の均一性が欠けてしまう
処理時間が長くなってしまう
プロセスの安定性が損なわれてしまう
成膜速度が遅くなってしまう
高温での処理が難しい
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
【英語版】プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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