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薄膜の均一性が欠けてしまう
高温での処理が難しい
ウエハサイズが限られてしまう
複雑なプロセスが必要となってしまう
膜質が低下してしまう
プロセスの安定性が損なわれてしまう
製品の品質が低下してしまう
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
【英語版】プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
625KB
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