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エッチング・成膜のプロセスが途中で停止してしまう
長時間の運転により装置の劣化が進み、均一性が悪化してしまう
プロセス中に素材が破損してしまうリスクがある
エッチング・成膜のプロセスが不安定で、品質が安定しない
エッチング・成膜のプロセス中に異常が発生してしまう
従来の方式では均一性が悪く、品質が低下してしまう
プロセス温度が制限されており、必要な温度での処理ができない
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
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