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エッチング・成膜のプロセスが途中で停止してしまう
プロセス温度が制限されており、必要な温度での処理ができない
エッチング・成膜のプロセス中に異常が発生してしまう
ウエハサイズが異なる場合に、装置の切り替えが煩雑で時間がかかってしまう
プロセス中に素材が破損してしまうリスクがある
エッチング・成膜のプロセスが不安定で、品質が安定しない
従来の方式では均一性が悪く、品質が低下してしまう
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
【英語版】イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』
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