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イオンソースの位置や角度を調整する際に、手動で行うと精度が低くなってしまう
プロセス中に素材が破損してしまうリスクがある
エッチング・成膜のプロセスが途中で停止してしまう
従来の方式では均一性が悪く、品質が低下してしまう
エッチング・成膜のプロセスが不安定で、品質が安定しない
エッチング・成膜のプロセス中に異常が発生してしまう
大面積の素材を均一にエッチング・成膜する際に、時間がかかってしまう
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
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