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厚膜が不均一でパターンが乱れる
線幅が広すぎて精密なパターンが作れない
透過率が低くてパターンが不鮮明になる
露光条件が限定されてしまう
パターン形状が限定されてしまう
厚さが適切でなくパターンが歪む
細かいパターン作成が難しい
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
ネガ型厚膜レジスト材料『HTRシリーズ』
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