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露光輝線が適応できない
線幅が広すぎて精密なパターンが作れない
透過率が低くてパターンが透けてしまう
パターン形状が限定されてしまう
細かいパターン作成が難しい
厚さが適切でなくパターンが歪む
露光感度が低くて作業時間がかかる
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
ネガ型厚膜レジスト材料『HTRシリーズ』
大阪有機化学工業株式会社
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