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厚膜が不均一でパターンが乱れる
露光輝線が適応できない
透過率が低くてパターンが透けてしまう
厚さが適切でなくパターンが歪む
透過率が低くてパターンが不鮮明になる
露光感度が低くて作業時間がかかる
露光条件が限定されてしまう
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
ネガ型厚膜レジスト材料『HTRシリーズ』
大阪有機化学工業株式会社
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