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DLCやアモルファスSiCなどの特殊な膜を必要とする
高温での成膜が必要で、他の装置では達成できない
成膜対象物のサイズが大きく、他の装置では対応できない
実験装置から生産装置まで、幅広い用途に対応が必要
真空度が高く、他の装置では達成できない
排気圧力のコントロールが必要で、他の装置では難しい
立体物に膜を形成する際、均一な膜厚が難しい
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
立体物対応実験用プラズマCVD装置
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