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真空検査装置の環境汚染を軽減
真空干渉測定機のクリーン性を維持
ICステッパー照明系装置の耐久性を向上
光測定装置の潤滑性を確保
ワーク搬送装置の耐久性を向上
イオンステッパーの動作安定性を確保
レンズ検査装置の信頼性を高める
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
SPACEA(スペーシア)特殊環境用 ボールねじ・リニアガイド抜粋版:日本精工(NSK)
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