株式会社クボタ計装
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凹凸の欠陥をしっかり弁別
透明体基板の欠陥を見逃さない
欠陥の分析用にケガキ可能
微小欠陥を見逃さない
欠陥の種類ごとに弁別
SiCウェハの欠陥も検出可能
欠陥をリアルタイム観察可能
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
ウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式)_K-LE-G100
株式会社クボタ計装
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