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C0722_有限要素法による強誘電体キャパシタ金属TiN,W,Pt_HfxZr1-xO2_TiNの応力評価.jpg
【分析事例】有限要素法による強誘電体キャパシタ 金属(TiN, W, Pt)/HfxZr1-xO2/TiNの応力評価_C0722
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