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動機必須	具体的な検討のため情報収集のため
興味を持ったきっかけをお聞かせください任意	深さ方向の分解能を向上させることができる組成分布を調べることができる組成分布を調べる際に使用する微量不純物の濃度を評価する際に使用する深さ方向の分解能を向上させるために使用する斜入射法では限界があるため、垂直入射法を使用する一次イオンエネルギー1keV以下の領域でも分解能の向上が達成される上記以外 ※この質問はイプロスによって自動で作成されました

動機必須

具体的な検討のため

情報収集のため

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任意

深さ方向の分解能を向上させることができる

組成分布を調べることができる

組成分布を調べる際に使用する

微量不純物の濃度を評価する際に使用する

深さ方向の分解能を向上させるために使用する

斜入射法では限界があるため、垂直入射法を使用する

一次イオンエネルギー1keV以下の領域でも分解能の向上が達成される

上記以外

※この質問はイプロスによって自動で作成されました

垂直入射法による深さ方向分解能の向上_B0002

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