神港精機株式会社
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ウェハの冷却
結晶膜の高温還元熱処理
化合物半導体電極膜のアニール
ウェハの加熱
LED透明電極膜のアニール
半導体膜の高温還元熱処理
ウェハの搬送
上記以外
※この質問はイプロスによって自動で作成されました
水素アニール装置
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