更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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最大800Nの保持力と5nm分解能を実現。半導体製造装置の高精度位置決めを支える高推力ピエゾドライブ
半導体製造では、ウェハ検査やナノリソグラフィなどの工程において、ナノメートルレベルの高精度位置決めが求められます。わずかな位置決め誤差でも、製品品質の低下や歩留まり悪化につながる可能性があります。 N-216は、PI独自のNEXLINE(R) PiezoWalk(R)ウォーキングドライブ技術を採用した高推力リニアアクチュエータです。 0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の高分解能と最大800Nの保持力により、半導体製造装置における高精度かつ安定したナノ位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・ウェハ検査装置 ・ナノリソグラフィ装置 ・半導体製造装置 ・ナノ計測装置 ・精密位置決め用途 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの高精度位置決めによる歩留まり向上 ・高推力駆動による安定した位置決め性能 ・製造プロセスの効率化 ・高品質な半導体製品の安定生産に貢献
太陽光パネルの追尾に！軽量・コンパクトな電動アクチュエーター
太陽光発電業界では、太陽光パネルの発電効率を最大化するために、太陽の動きに合わせてパネルの角度を調整する追尾システムが求められます。特に、天候や季節によって太陽の高度や位置が変化するため、正確な追尾が重要です。油圧シリンダーと比較して、電動リニアアクチュエーターは、より精密な制御と省エネルギー性能が求められます。HIWIN 電動リニアアクチュエーターは、これらの課題に対応し、太陽光発電システムの効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・太陽光パネル追尾システム ・角度調整機構 【導入の効果】 ・発電効率の向上 ・メンテナンス性の向上 ・省エネルギー化
伸縮自在のパワフルリニアアクチュエータ。小型なのに10Kg持ち上げる。直動で安定した力伝達が可能。
減速機構、回路内蔵の小型プログラマブルリニアサーボアクチュエータ。 定格推力最大100N！ Arduino ラズベリーパイ等にて制御頂けます。 シリンジポンプ、ピペット等医療機器、研究開発機器等の用途にお使い頂けます。 ◆サイズ 27mmストローク 【サイズ】57.5 x 29.9 x 15mm 41mmストローク 【サイズ】86.9 x 36 x 18mm 56mmストローク 【サイズ】111.5 x 36 x 18mm 96mmストローク 【サイズ】151.5 x 36 x 18mm ◆動作について ・様々なプログラミング言語にてお客様ご自身でプログラミング、制御が可能です。 ・また、お客様に簡単に動かして頂ける、アクチュエータとPCをつなぐインターフェース、簡単にパラメータ設定頂けるソフトウェアを用意しております。 ・Arduinoベースのコントローラや、ラズベリーパイHATもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
伸縮自在のパワフルリニアアクチュエータ。小型なのに10Kg持ち上げる。直動タイプにつき安定した力の伝達が可能。
減速機構、回路内蔵の小型プログラマブルリニアサーボアクチュエータ。 定格推力最大100N！ Arduino ラズベリーパイ等にて制御頂けます。 バルブコントロールやコンプレッサー等の用途にお使い頂けます。 ◆サイズ 27mmストローク 【サイズ】57.5 x 29.9 x 15mm 41mmストローク 【サイズ】86.9 x 36 x 18mm 56mmストローク 【サイズ】111.5 x 36 x 18mm 96mmストローク 【サイズ】151.5 x 36 x 18mm ◆動作について ・様々なプログラミング言語にてお客様ご自身でプログラミング、制御が可能です。 ・また、お客様に簡単に動かして頂ける、アクチュエータとPCをつなぐインターフェース、簡単にパラメータ設定頂けるソフトウェアを用意しております。 ・Arduinoベースのコントローラや、ラズベリーパイHATもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
伸縮自在のパワフルリニアアクチュエータ。小型なのに10Kg持ち上げる。直動タイプにつき安定した力の伝達が可能
減速機構、回路内蔵の小型プログラマブルリニアサーボアクチュエータ。 定格推力最大100N！ Arduino ラズベリーパイ等にて制御頂けます。 ドローンの着陸装置、マルチコプターの回転斜板の用途にお使い頂けます。 ◆サイズ 27mmストローク 【サイズ】57.5 x 29.9 x 15mm 41mmストローク 【サイズ】86.9 x 36 x 18mm 56mmストローク 【サイズ】111.5 x 36 x 18mm 96mmストローク 【サイズ】151.5 x 36 x 18mm ◆動作について ・様々なプログラミング言語にてお客様ご自身でプログラミング、制御が可能です。 ・また、お客様に簡単に動かして頂ける、アクチュエータとPCをつなぐインターフェース、簡単にパラメータ設定頂けるソフトウェアを用意しております。 ・Arduinoベースのコントローラや、ラズベリーパイHATもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
伸縮自在のパワフルリニアアクチュエータ。小型なのに10Kg持ち上げる。直動タイプにつき安定した力の伝達が可能
減速機構、回路内蔵の小型プログラマブルリニアサーボアクチュエータ。 定格推力最大100N！ Arduino ラズベリーパイ等にて制御頂けます。 カメラ、レーザー等のレンズ調整、フォーカス調整等、様々な用途にお使い頂けます。 ◆サイズ 27mmストローク 【サイズ】57.5 x 29.9 x 15mm 41mmストローク 【サイズ】86.9 x 36 x 18mm 56mmストローク 【サイズ】111.5 x 36 x 18mm 96mmストローク 【サイズ】151.5 x 36 x 18mm ◆動作について ・様々なプログラミング言語にてお客様ご自身でプログラミング、制御が可能です。 ・また、お客様に簡単に動かして頂ける、アクチュエータとPCをつなぐインターフェース、簡単にパラメータ設定頂けるソフトウェアを用意しております。 ・Arduinoベースのコントローラや、ラズベリーパイHATもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
優れた制御性・応答性・応用性。券売機など確実な可動・保持が求められる場所で多数採用
当社では、制御性・応答性の高さが特長の電磁石を応用した アクチュエータ『ソレノイド』を多数取り扱っています。 応用性の高さが特長の「汎用形 -SDCタイプ-」の他、 無電力保持に対応した「単安定自己保持形 -KPSタイプ-」、 引く・押す・無電力保持の1台3役の「双安定自己保持形 -DKSタイプ-」をラインアップ。 国内での一貫生産により、QCDに優れた製品を提供可能です。 専門メーカーの技術と品質でお客様の悩みにお応えいたします。 【用途・応用例】 ◎現金取扱機器の硬貨の払い出し機構 ◎宅配ボックスの施錠など長期間の保持を目的とする機構 ★その他、ホームドア、改札口、券売機、駐輪場、 電気錠ドア、自動ドアなど幅広く活用されています。 ※「自己保持形ソレノイド」「双安定自己保持形ソレノイド」の特性・動作メカニズムなどを 紹介した資料をPDFダウンロードよりご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ソレノイドの選定に困っている方にぴったりの問い合わせシートもご用意しております。
アクチュエータの開発、設計、生産で工程管理をサポート
半導体製造業界の工程管理では、高い精度と信頼性が求められます。特に、製造プロセスの自動化や効率化において、アクチュエータの正確な動作が重要です。不良品の発生を抑制し、生産効率を向上させるためには、アクチュエータの性能が不可欠です。東京モートロニクス株式会社のアクチュエータは、お客様の工程管理における課題解決をサポートします。 【活用シーン】 * 半導体製造装置における精密な位置決め * ウェーハ搬送システムの制御 * 各種検査工程での正確な動作 【導入の効果】 * 工程の精度向上 * 生産性の向上 * 製品品質の安定化
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性
最大12 mm/s・50 N高推力。半導体検査工程に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ。
半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高精度な制御が不可欠です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右します。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や製造効率の低下につながる可能性があります。N-331 PICMAWalkは、最大50 Nの高推力とサブナノメートル分解能を両立した組込み型リニアアクチュエータです。最大12 mm/sの高速動作に対応し、検査装置のタクトタイム短縮にも貢献します。 摩擦駆動方式により電源オフ時でも位置保持が可能。さらに真空対応仕様により、半導体検査装置やクリーン環境下での使用にも適しています。 【活用シーン】 ・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め ・マスクアライナーにおける位置決め ・検査装置における高精度位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルでの高精度な位置決めを実現 ・製造プロセスの品質向上と歩留まり向上に貢献 ・真空環境下での使用が可能 推力特性、その他仕様、真空対応オプションなどの詳細はカタログをご確認ください。
最大20MPaの高圧用例をはじめ、様々な圧力レンジのレギュレータと組合せて使用可能、もちろん遠隔制御可能
機械的な特徴： 1. 頑丈な防爆型、IP66/68 ハウジング。 2. 同軸ギアタイプにより、結合なしで熱膨張・収縮に対応。 3. 強力な遊星歯車減速による強度及び長寿命。 4. NAMUR取付け式(F05 & F07)。 5. 取付け方に応じ、ユニバーサルアダプタープレートに変更可能。 6. デジタルリミットスイッチにより、最小限のヒステリシスと高い精度が可能。 7. エンクロージャ上部に配線口があり、簡単に配線及び接続。 高圧レンジでは • モデルHPD 0-0.173 ～ 0- 3.45 MPa • モデルHPP 0-6.9 ～ 0- 20.7 MPa ！！詳しくは問合せ又はカタログをダウンロード下さい！！
最大12 mm/s・50 N高推力。光学調整に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ
光学業界では、精密な光学系の調整において、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが求められます。特に、光軸調整やレンズの位置決めなど、わずかなズレがシステムの性能に大きな影響を与える場面では、高精度な位置決め能力が不可欠です。不正確な調整は、画像の歪みや測定精度の低下を引き起こす可能性があります。高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331は、ナノメートル精度で位置決めを実現し、光学系の性能を最大限に引き出します。 【活用シーン】 ・光学顕微鏡の対物レンズ調整 ・レーザー加工機の光軸調整 ・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルでの高精度な位置決め ・光学系の性能向上 ・作業効率の向上
位置・圧力制御・高速駆動が必要な工業用ミシン向け！軽量で高速、高精度なアクチュエータ
新電元メカトロニクスが製造販売する「ボイスコイルモータ(VCM) 」は、高精度・高速度制御を可能とするアクチュエータです。 高精度な位置制御・圧力制御・高速駆動が必要な工業用ミシンへ採用されております。 VCMは、重い鉄心を可動するソレノイドに対して、コイルのみの軽量な可動部をもつため、 応答性が優れており、また高速動作が可能となります。 また、電流が上がっても鉄心の磁化カーブの曲がる影響を受けにくく、 極めて直線的で良好な比例関係を示すことが出来ます。 【特長】 ■工業用ミシン分野で採用 ■可動部が軽量で高速応答 ■双方向出力 ■インダクタンスが小さく、制御性が良好 ■コギングレスでなめらか動作 ■推力と駆動電流の直線性が極めてよい ※詳しくはPDFダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
高精度な圧力制御・高速駆動を実現！軽量で高速、高精度なアクチュエータ
新電元メカトロニクスが製造販売する「ボイスコイルモータ(VCM) 」は、高精度・高速度制御を可能とするアクチュエータです。 高精度な位置制御・圧力制御・高速駆動が必要な分野への組み込みに適しております。 VCMは、重い鉄心を可動するソレノイドに対して、コイルのみの軽量な可動部をもつため、 応答性が優れており、また高速動作が可能となります。 また、電流が上がっても鉄心の磁化カーブの曲がる影響を受けにくく、 極めて直線的で良好な比例関係を示すことが出来ます。 【特長】 ■高速駆動機器に対応 ■可動部が軽量で高速応答 ■双方向出力 ■インダクタンスが小さく、制御性が良好 ■コギングレスでなめらか動作 ■推力と駆動電流の直線性が極めてよい ※詳しくはPDFダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
