【半導体製造向け】不活性ガス中酸素濃度コントロールシステム
4つの電磁弁を遠隔操作可能!酸素濃度監視と不活性ガス流量コントロールに最適
半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、製造プロセスにおける酸素濃度の厳密な管理が不可欠です。特に、酸化を抑制し、製品の性能劣化を防ぐためには、不活性ガス環境の維持が重要となります。不適切な酸素濃度管理は、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。当社の不活性ガス中酸素濃度コントロールシステム(ICS)は、酸素濃度を監視し、不活性ガスの投入流量を制御することで、半導体製造プロセスにおける酸化を効果的に防止します。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける不活性ガスパージ ・爆発限界管理による安全性の向上 ・VOC排出量の削減 【導入の効果】 ・製品の品質向上と歩留まりの改善 ・製造プロセスの安全性向上 ・VOC排出量の削減による環境負荷低減
- 企業:株式会社テクネ計測
- 価格:応相談