更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
簡単操作で圧力制御 コンパクトなバキュームコントローラー
バキュームコントローラー 「V-303型」は、濃縮装置、蒸留装置の作業工程内での真空度を、設定したレベルに保つための制御装置です。 背面支柱取付クランプにより既存のシャフトアングルなどに容易に固定が可能です。 【特徴】 ○表示はカラー液晶表示器を採用し見やすくなった ○タッチパネルとプッシュダイヤルを採用 ○真空度数値、ヒステリシス設定が円滑に設定可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
特注仕様にもフレキシブルに対応可能！長期間のメンテナンス対応を考慮しています
『FORWARD ED-VI』は、押出成形ラインの生産管理・工程管理等、 省力化・合理化に効果を発揮する多機能型プロセスコントローラーです。 既製のハードを使用し壊れにくくし、システムの標準化を行い、 特注仕様にもフレキシブルに対応可能。 また、既製のタッチパネル、PLC、温調を使用し、長期間の メンテナンス対応を考慮しています。 【特長】 ■省力化・合理化に効果を発揮 ■TFTカラー10.4インチ液晶画面で見やすく操作ができる ■長期間のメンテナンス対応を考慮 ■特注仕様にもフレキシブルに対応可能 ■6台までの「FORWARD」をパソコンでの集中管理が可能(オプション仕様) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
充実したI/O拡張性と汎用性
株式会社エー・アンド・デイ 計測・制御・システムコントローラ AD5436シリーズは、カスタマイズ性に富んだ、ミドルレンジの計測・制御システムコントローラです。 〇特長 ・Intel Coreプロセッサ/Celeronシリーズ デュアルコアプロセッサを採用 ・8inchカラー液晶 (タッチパネル)とファンクションキー ・スタンドアローン動作 ※詳細はお気軽にお問い合わせください。
計量・計測制御市場の多様なニーズに適応する完全カスタマイズ化を可能に。
AD-4820はCPU、OS、表示部、通信用インターフェイスから構成されています。AD-4820をベースに、プログラム、シーケンス、表示画面を任意に制作することが可能です。また、豊富な入出力ボード群から最大4スロットの装着が可能なため、複合大規模システム構築の際、省スペース、低コスト化が実現できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。
『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『見える化』と『ピークカット』で節電と電気料金の削減を実現します。
・電力の最大使用量を低減（ピークカット）することにより、基本料金が削減されます。RiCS-デマコンは建物内の電力使用量の「見える化」を行い、快適な環境を保ちながら、設定した電力量を超えないように、空調等の電気設備の稼動をコントロールします。 ・電力使用量はシーズンによって変化します。RiCS-デマコンならばシーズン毎の目標値設定が可能です。 ・RiCS-デマコンは完全受注生産です。お客様の要望に対して細かく柔軟に、しかも低コストでお応えし、節電・省エネの実現に貢献します。
顔認証スピードは約0.2～0.3秒！顔認証、カード、指紋の登録から認識までこれ1台で運用可能
『ASC-7214Y』は、200万画素のデュアルカメラで顔を立体的に認識できる 非接触顔認証入退管理システムです。 大画面で見やすいタッチパネル液晶画面を搭載。 白色LEDを搭載しており、夜間はライトが点灯して顔を明るく照らします。 また、安心の日本語音声でわかりやすく案内可能。 さらに、認証の可否をインジケーターランプでお知らせいたします。 【特長】 ■顔認証スピード：約0.2～0.3秒 ■写真での顔認証は不可 ■顔認証、カード、指紋の登録から認識まで、これ1台で運用可能 ■タッチパネルで直感的な操作ができる ■センサーやランプなどと外部機器の連動が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能 （ガス種、F.S.、流量を変更可能） ○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 ※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。
MCV/MCVSシリーズ（真空用シャットオフバルブ搭載）のALICAT社製のマスフローコントローラー。
『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル
『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により 経済性を向上しています。 また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。 【特長】 ■エラストマー(ゴム)シール ■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大型・大容量ホットプレートへの電源供給が可能です。
PCC400型は5kW(200V)の大容量を誇り、これまでのコントローラでは出来なかった、大型・大容量ホットプレートへの電源供給が可能です。 PCC400型では、電気容量が大きくなっても過熱しないよう、大型の専用ケースを採用。 また、回路プロテクタを標準装備しており、万が一の場合は自動的に回路を遮断致します。 【特徴】 ○25Aの大容量モデル ○安全性を追求 ○豊富なカスタマイズ性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！
『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
