多チャンネルピエゾコントローラ M-2629S(C)
最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大３軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応しています。
ステージ×株式会社メステック - メーカー・企業と製品の一覧
ステージの製品一覧
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ピエゾステージ 「MA-140シリーズ」
多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。
ピエゾステージ 「MB-10」
3軸変位拡大機構を内蔵
透過窓（φ15）付きピエゾステージです。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しておりメンテナンスは不要です。 ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
ピエゾステージ 「MI-100シリーズ」
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
2軸チルトステージ MQ-2TXYD
光学ミラーの精密制御、レーザーシステム、スキャニング（走査）装置に最適！
ご用途に合わせたカスタマイズ等にも対応可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
大型窓Z軸ピエゾステージ MV-20ZD4
レーザー干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決めに最適です。
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
加工機用耐油ピエゾステージ MO-10XD
耐油構造で高速・高精度位置分解能。工作機械でのバイト精密位置制御やミリ秒 ワークの高速位置決めに最適！
精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 極めて高精度な位置決めが可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ピエゾコントローラ M-26118S(C)シリーズ
制御回路・センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化し、ステージと接続してクローズドループ制御がおこなえるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ OPEN/CLOSED フィードバック切り替え 出力電圧 -10V～+150V（BNCコネクタ）
ピエゾコントローラ M-2510S(C)シリーズ
制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化 ステージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 -10V～＋150V（BNCコネクタ）
ロングストローク透過窓付ピエゾステージ MAP-F
1・2・3軸ロングストローク透過窓付きピエゾステージ MB-140シリーズがモデルチェンジ!
透過窓付ピエゾステージ 御用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。
ピエゾステージ 「MH-20XYD」
高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
