更新日： 集計期間:2026年04月15日～2026年05月12日
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アナログDPセンサー(±500Pa)、チューブ接続！供給電圧は2.7-5.5V
『SDP816-500Pa』は、直線もしくは平方根出力の選択が可能な 微差圧センサーです。 コストや正確な流量測定の要求が厳しい、VAVコントローラー、バーナー、 ヒートリカバリーシステムやフィルターモニタリングのようなHVAC アプリケーションなどに適した信頼性の高いソリューション。 当社CMOSens微差圧センサーは伝統的なピエゾ抵抗式センサーよりも 低差圧領域での感度、オフセットドリフト、ヒステリシス、対振動、 温度、取り付け方向による測定値のばらつき性能が優れています。 【仕様(一部)】 ■圧力範囲：500 - 500Pa ■精度：3％m.v. ■ゼロ点精度：0.1Pa ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体製造プロセスの温度管理に！多点式センサーで効率化。
半導体業界では、製造プロセスの品質と歩留まりを向上させるために、精密な温度管理が不可欠です。特に、ウェーハ製造やアニール工程など、微妙な温度変化が製品の性能に大きく影響する場面では、正確な温度測定が求められます。温度分布の不均一さは、製品の不良や性能劣化を引き起こす可能性があります。多点式センサーは、1本の保護管で最大20箇所の温度を測定できるため、プロセス全体の温度分布を効率的に把握し、最適な条件を見つけ出すのに役立ちます。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程の温度管理 ・アニール工程の温度均一性評価 ・CVD/PVD装置内の温度モニタリング ・その他、温度管理が重要な半導体製造プロセス 【導入の効果】 ・プロセスの最適化による歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・温度管理の効率化 ・不良品の削減
