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半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！
当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。 接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、 半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■CHRocodile 2シリーズ ■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン ■利点：色収差共焦点原理による使用 ■利点：分光干渉原理による使用 ■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。
『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡面、色付き材料など表面の状態に依らず計測ができ、測定レンジの範囲も広いセンサです。 【特長】 ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 厚みは（45um)～厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合） 距離センサとしては、600um, 4mm, 10mmの3種類の プローブラインナップ。 ■高分解能（ Zはサブミクロン、XYは数um~） ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野
最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定！全ての表面に対応します
『CHRocodile C』は、白色光を通した、色収差による変位もしくは 厚み測定を行う色収差共焦点センサーです。 440g以下のコンパクトサイズ。 "粗面"をはじめ、"鏡面"や"色付き材料"など全ての表面に対応します。 プローブヘッドは200um～10mmまでご用意しております。 【特長】 ■コンパクト ■表面依存無 ■最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定 ■形状に依存無 ■プローブヘッドは200um～10mmまで用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています！
当資料は、CHRocodileシリーズをご紹介しています。 「CHRocodileの測定原理」をはじめ、「干渉センサー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1：共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ■CLSコントローラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご紹介しています
当資料は、非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています。 「CHROMATIC VISION CAMERAの原理」をはじめ、「測定例」や 「CHRocodileの特長と優位性」などについてご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■白色光センサー ■CHRocodile C ■干渉センサー ■CHROMATIC VISION CAMERA ■FLYING SPOT SCANNER ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。
『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アナログI出力付！CHRocodile 2IT DW1000をご紹介します。
プレシテック・ジャパン株式会社が取り扱う 『CHRocodile 2IT DW1000』をご紹介します。 光源は、NIR SLD。 測定レンジは、80um～8200um(n=1)，20um～2000um(n=3.7)です。 また、5軸エンコーダーが付いています。 【製品スペック】 ■光源：NIR SLD ■測定レンジ：80um～8200um(n=1)，20um～2000um(n=3.7) ■外部トリガー、同期IO ■5軸エンコーダー付 ■Ethernet, RS422 ■アナログI出力付 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンシューマー向け！色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査などを掲載しています
当資料は、コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品の アプリケーション事例及びご提案を掲載しています。 光学ポイントセンサーによるサブミクロン精度による変位、形状、 厚み測定をはじめ、FSSによる平坦度、厚み、形状、縦と横の層と 部品配置の測定などについてご紹介しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■アプリケーション及び製品（インライン検査向けにデザイン） ・光学シングルポイントセンサー＆プローブを使用した変位及び厚み測定 ・測定したいエリアをスキャン厚み、平坦度、形状 ・色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査 ・色収差ラインスキャンカメラによるキズ・欠陥寸法検査 ・溶接の品質管理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリスト！
プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 当社は、単なるシステムおよびコンポネントのサプライヤーではなく、 お客様の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 基礎段階からご相談に応じ、お客様と共にお客様の要望ならびに目的を 的確にコンサルトします。 これによって、お客様の用途に適切なソリューションを提供することができます。 【事業内容】 ■レーザーマテリアル加工 ■光学測定技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
振動の影響不要！環境に依存せず簡単な操作性を実現します！ウエハ検査用途にも。
『CHRomatic Vision Camera』は、ラインカメラをベースとして 色収差共焦点原理を応用した製品です。 コンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chromatic対物レンズは用途やレンジによって交換可能。 ラインセンサーのすべての利点を採用し、エリア内を高速スキャン及び インライン検査などが容易に行えます。 【特長】 ■フラットでないワークでも鮮明なイメージ ■振動の影響不要 ■全ての材料に対して高いコントラスト ■最大取込データ：100kHz (200MPixel/sec) ■焦点深度：150μm～3mm ■分解能：1～5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無！ホットエンド工程にも対応可能
『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。 【特長】 ■光学式で非接触 ■消耗品使用無 ■サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無 ■傾斜のあるワークにも測定可能 ■ホットエンド工程にも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バイアルの形状、厚みの自動検査用途に最適 - 高速・高精度光センサ
色収差共焦点センサによるバイアル測定のアプリケーション資料です。 高速・高精度が特長のプレシテックの光センサで、厚み・形状検査の自動化を実現します。 シングルポイント、デュアルポイント、ラインセンサなどのラインナップがあります。 数nmからのZ分解能、最大70kHzの高速測定が可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
厚み・形状測定の高精度・高速測定の組み込み光センサ
高精度、高速測定が特長のプレシテックの光学センサで、色収差共焦点方式のシングルポイントセンサです。 厚み・形状測定の時間短縮、全数検査での実績多数あり。 色収差共焦点方式のため、角度許容度の大きいプローブの使用も可能です。 廉価版センサラインナップもあり、約80万円～ご紹介可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
フィルムやコーティング、非接触の厚み測定を安価な距離センサーで。斜面にも強く、距離方向分解能20nmを実現！
当社プレシテック・ジャパンの光学式距離センサ/厚みセンサ『CHRocodile C / CHRocodile Mini』は、 測定レンジの範囲が広い非接触コンパクトセンサーです。 斜面にも強く、距離方向20nm～の高分解能でありながら、安価な約100万円～（税別）からご購入可能です。 【活躍シーン例】 ●装置内での製造品の高さ・距離測定による全数検査 ●ガラスやフィルム、グラファイトコーティングの厚みの管理による品質向上 ⇒製造装置メーカーや検査装置メーカー、インテグレータ様にてご採用いただいています。 【特徴】 ・高分解能と購入ハードルを抑えた価格帯を両立 ・フィルム、コーティングの厚みを非接触で測定 ・角度許容度最大+-45度で斜面にも強い ・距離方向分解能20nm～ ・提供するソフトウェア開発キットで自由にソフト作成可能 ・装置組み込みも可能 ・表面や形状に依存せず、粗面及び鏡面にも対応 ※製品詳細は［PDFダウンロード］から資料にてご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフォトサーマル式センサ
フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 ・非接触で下記が測定できます。 ☆不透明体の厚みマッピング ☆不透明な表面材料層下の欠陥検知 破壊試験が不要になります。 ・エリアセンサのため、１秒で約１１万点の同時測定が可能。 ・溶接部など、従来Ｘ線、ＣＴスキャンが必要な箇所の欠陥検知にも適用可能。 ・母材に依らず様々な材料の組み合わせで測定可能。 ■アプリケーション 自動車業界、航空業界、日用品、産業品、医療業界、半導体分野。 コーティング厚み、金属メッキ厚み、塗装膜、溶接部など様々なアプリケーションで使用可能です。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせよりご確認ください。
