ガスフローセンサー『SFM5400』
多様な継手とインターフェースに対応！50sccmから200slmまでの測定が可能
『SFM5400』は、高精度(誤差＜1％)、長期安定性と高い繰り返し精度、 また広いダイナミックレンジを備えているマスフローメーターです。 金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し 50sccmから200slmまでの測定が可能。 また、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている CMOSens技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果 安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05,0.1,0.2,0.5,1,2,5,10,20,50 and 100slm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O, SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock,VCO,VCR,Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：センシリオン株式会社
- 価格：応相談
