精密部品 ピンチャック
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。
- 企業:技研精機株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年08月27日~2025年09月23日
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ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。
クリーン度の維持に貢献!半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
市場のニーズに応えた、海外のユニークな工作機械・周辺機器を多数ご用意! NKワークスの取り扱い製品カタログ
『製品総合ガイド』は、産業用機械の専門商社 NKワークス株式会社の総合カタログです。 5thAXIS社の「クイックチェンジバイス」をはじめ、ハインブッフ社の「クイックチェンジコレットチャック」や、クノール社の「高圧スクリューポンプ」そのほか多数の工作機械周辺機器を掲載しています。 【掲載内容】 ■チャック/ バイス/ センター ■切削工具 / ツールホルダー ■クーラント周辺機器 ■測定器/ ゲージ/ エンコーダー ■工作機械/ 周辺機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々な測量物に合わせ、レイアウト、材質変更が可能
「特注チャック」は、様々な測量物に合わせ、レイアウト、材質変更が可能です。 MJCはプロービング技術を得意とし成長発展してきました。 常に進化しつづける半導体デバイスやFPDデバイスに、いつでも確実にコンタクトし、変わらない信頼性の高い検査測定を提供する環境を築いてきたのです。 【特徴】 ○様々な測量物に合わせ、レイアウト、材質変更が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
目盛がついているため設定角度に簡単に設定可能 三次元測定機や定盤上での棒状ワークや円筒ワークの保持に最適の測定冶具
●水平方向に360°回転可能 45°垂直方向に傾斜可能 ●バーニア最小目盛:5分
目盛がついているため設定角度に簡単に設定可能 三次元測定機や定盤上での棒状ワークや円筒ワークの保持に最適の測定冶具
●水平方向に360°回転可能 45°垂直方向に傾斜可能 ●バーニア最小目盛:5分
最大荷重150Nの細いサンプルを掴むのに最適な小型軽量治具。
銅箔など細い形状のサンプルをはさむときや、狭いスペースでの測定に適しています。 <特徴> ■歯切りがしてあるため強固なクランプが可能です ■口幅3mm(SC-3) と8 mm(SC-8)の2種類から選択できます。
ダブルベアリング内蔵で、耐久性に優れており、素早く、高い精度で加工物を固定することが可能
●ポジショニングチャック:EQC50 ●エロワ社のクイックチャックが取り付けられています。 ●ステンレス製で防塵防水IP68仕様 ●15度単位の単能割り出しと回転ができます ●研削・切削・放電・ワイヤー・彫刻・測定に幅広くご使用頂けます。
布、テープ、フィルム等に最適な引張用のチャック!
『CHFシリーズ』は、薄い物をつかむのに特化した形状のフィルム チャックです。 引張り用としての使用を推奨しており、布、テープ、フィルム、紙などの 薄い物に適合します。 他にも当社では、さまざまな測定器および関連製品を多数取り扱って おりますので、お気軽にご相談下さい。 【使用例】 ■引張り荷重の破断試験 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダブルベアリング内蔵で、耐久性に優れており、素早く、高い精度で加工物を固定することが可能
●ポジショニングチャック:3R24 ●システム3R社のマニュアルチャックが取り付けられています。 ●ステンレス製で防塵防水IP68仕様 ●15度単位の単能割出と回転ができます ●研削・切削・放電・ワイヤー彫刻・測定に幅広くご使用頂けます。
電線や光ファイバー、板状サンプルなどを掴みます。引張試験にご利用いただけます。
電線や光ファイバーなど変形して抜けやすいサンプルをつかむのに最適な引張試験用治具。 【特徴】 ■ワンタッチでサンプルを固定できるため、容易なセッティングが可能 ■クサビ機構により、引張ると自動的に締付け力が高まるため、測定を容易かつ正確に実現 ※焼き入れしたような硬いサンプル、表面が滑るサンプルには不向きです。対応サンプルの詳細はお問合せください。 ※KC-100はAmazon(下記リンク)からもご購入を頂けます。
導電性新素材ガラス状カーボン!発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100%ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性(固有抵抗 2.4×10^-2[Ω・m]) ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
入口、出口シュートの製作、取付、加工プログラム、デバック作業も当社で行いました
株式会社旭技研が手掛けた『NC旋盤』の改造事例について ご紹介します。 ローディング、アンローディング、ワーク払出し、定配装置などを追加。 また、チャック、回転シリンダーの取付、カバー改造、入口・出口シュートを 取り付けました。 また、搬送関係の設計製作・改造、測定装置、ワークストッカー等の 設計製作も行います。お問い合わせください。 【事例詳細】 ■ローディング、アンローディング、ワーク払い出し、定配装置等の設計製作 ■チャック、回転シリンダーの取付、ドローバー、爪等の 設計製作及びセットアップ など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
豊富な特殊チャック設計の実績あり!お客様にとって好適なソリューションをご提案します
当カタログでは、ハインブッフの高い品質を維持しながら、 お客様にとってベストなソリューションをご提案いたします。 丸棒の素材もクランプ可能なスパントップ2x2コレットチャックや タレメントチャック、歯切り加工用マンドレルなどをご紹介。 さまざまなチャックをラインアップ。製品の選定にご活用ください。 【掲載製品】 ■スパントップ 2x2 コレットチャック ■シャフトチャック ■タレメントチャック ■セグメント ブッシング チャック ■2x2 ピンアーバー チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度な平面度仕上げに成功!現在使用されているピンチャックの再生にも対応!
株式会社テージーでは、セラミックスの超精密加工事業を行っております。 当社は、トップクラスの精密加工技術を有しており、半導体製造装置部品、 液晶関連部品等の製造に応用。 中でも、半導体露光装置用のピンチャックは、0.2μm以下の高精度な 平面度仕上げに成功し、幅広い半導体メーカー様に採用され、新作だけで なく、現在使用されているピンチャックの再生にも対応しています。 【特長】 ■各露光装置メーカー対応の半導体用ピンチャックの製造・再生を行う ■非接触型レーザー干渉計による正確で精密な平面度測定を実現 ■セラミックスの平面度、平行度、直角度、粗さ等の仕上げ加工に 高い技術力でご要望にお応え ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。