バルブのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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バルブ(弁) - メーカー・企業と製品の一覧

バルブの製品一覧

16~23 件を表示 / 全 23 件

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高純度ガス系 2連3方バルブ(ブロックタイプ)

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性!特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能

『2連3方バルブ(ブロックタイプ)』は、KD・KCD・RD シリーズ、 各シリーズダイヤフラムバルブの2台(2連)を一つにまとめ、配管流路を 共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバルブです。 基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぎ、同種及び異種の 組み合わせにより、配管システムを極小にコンパクト設計することが可能。 また、配管レイアウトに合わせた好適のフローシステム、配管取り回し、 継手種類を選択する事ができます。 【特長】 ■優れた脱ガス特性 ■基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぐ ■配管システムを極小にコンパクト設計することが可能 ■好適のフローシステム、配管取り回し、継手種類を選択できる ■特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能 #マニホールドバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズバルブ!マントルヒーターには熱電対と保護用サーモスタットを内蔵し異常加温を防止

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため コールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。 #副生成物対策 また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル製 ベローズの採用により実績100万回以上の耐久性能も確保しています。 【特長】 ■接ガス部の250℃加熱を実現 ■ベローズ内部ヒーターを装備 ■着脱可能な外部ヒーター ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能!お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト!

『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な ダイヤフラムバルブです。 流量の再現性を求められる原子層堆積(ALD)プロセスのプリカーサー (前駆体)供給に好適。 樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安定して再現性のあるガス流量が得られる ■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用 ■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALDプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性!特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど対応可能

『TDFシリーズ』は、ALD(原子層堆積)プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安定性 #高速応答 ■高温流体に対応 ■安定したCv値 ■高耐久 ■高純度ガス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積(ALD)プロセスのプリカーサ (前駆体)供給に適しています。 【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使用可能 ■高耐久 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『VLDシリーズ』

駆動部品数の最小化、単純化を実現!半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ

『VLDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び耐久性性能は変わらない ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフライバルブ!

『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できる シンプルな構造を持った遮断弁です。 シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、 バルブ取り付け作業が容易。 スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより 開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。 【特長】 ■コンパクト化・軽量化 ■バルブ取り付け作業が容易 ■最小の面間寸法により設置スペースの問題を解決 ■固定ネジにより任意の開度で設定できる ■差動ネジ機構による微小調整ができる ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(B-SEAL バルブ)』

KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能!手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されています

『TD/TCD(B-SEAL バルブ)』は、KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。 従来の4点締め施工ではなく、Center-lock方式を採用。 バルブ交換が非常に簡素化され、メンテ施工性が非常に優れており、 ユーザーの生産性に大きく貢献致します。 また、バルブとブロックの装着時の配置ミスを防ぐため、バルブと ブロック部の接合点の切り目サイズが、それぞれIn側、Out側で 異なった設計になっております。 【特長】 ■メンテ施工性が非常に優れており、ユーザーの生産性に大きく貢献 ■手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されている ■トグルハンドルにより、限られたスペースでも容易にハンドル操作が可能 ■ブロックタイプでは、流路に沿ってカートリッジヒータをブロック内蔵  することができ、温度制御性ベークアウト性が大幅に改善される ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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