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ステンレス316製、超真空システム用継手、フルオロカーボン製Oリング採用で指で簡単に締め付け組立が可能（刻み付ナット仕様）。
ハムレットの『UH LINEシリーズ』は、超真空システム向けに設計され、以下の様な特徴を持った継手製品です。 ・指締めによる組立て（刻み付ナット仕様） ・システム内での取り外し、再配置が簡単 ・4 ｘ 10-9 ATM .cc/秒 のヘリウムリーク試験に合格 ・最高使用温度 : 242℃ ・ボディ材質 : 316ステンレス鋼 Oリング フルオロカーボン FKM 768UH >>> おすコネクタ 762UH >>> ストレートユニオン 763UH >>> 異径ユニオン 763LUH >>> LET-LOK <=> UH Line変換 764UH >>> ユニオンティ 765UH >>> ユニオンエルボ 767UH >>> UH Line <=> チューブアダプタ変換 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1つのバルブでオン/オフ と微流量制御を行うことができます。 2 in 1の性能によりバルブ１個分流路を短くしコストも削減。
微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』は、流量調整バルブ（H-1300シリーズ）とボールバルブ（H-800シリーズ）を１つにまとめた、今までにない画期的なバルブです。 １つのバルブで流体のオン／オフと微流量調整を行う事ができます。 ＜特徴＞ ・微流量調整用バルブとしてはH1300シリーズ同様にステム角1°、3°、5°をご用意 ・ボールバルブとしてはH800シリーズ、SボディサイズでPFAシートを採用 ・パネルマウント対応 ・最高使用圧力： 13.7MPa ・最高使用温度： 150℃ ・ボディ材質： ステンレススチール316製 ・シート材質（ボールバルブ側）： PFA ・シート材質（流量調整バルブ側）： フルオロカーボンFKM（標準）、他 ・接続： LET-LOK（くいこみ継手）、ねじ込み、面シール継手 ・オプションでハンドルが選べます ・オプションで完全禁油、酸素禁油対応可能 ・接続サイズ： 1/8"～3/8"（LET-LOK） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルトラクリーンダイヤフラムバルブ『UCVシリーズ』。
本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ（オールメタルシール） ・2Lシリーズ（ソフトシール） ・EVZSシリーズ（かしめシート） ・2LEシリーズ（コンパクト型） 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティクル発生を極力抑えます。 半導体装置に要求されるクリーン度を高いレベルで実現し、製造ラインでの歩留まりを改善します。 また、高純度ラインで使用可能は流量調整弁2LMシリーズもご用意しております。 海外仕様のダイヤフラムバルブ、モノブロックバルブ、面実装対応のバルブをお探しの方はお問い合わせフォームよりリクエスト下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
