半導体製造装置向け!クリーン対応の薄型フィルムヒーター
クリーンルーム環境でも安定稼働。精密工程を支える高精度な温度制御技術で、有したフィルムヒーターです。
シンワの『ポリイミドヒーター』は、半導体製造装置や精密機器内での熱制御に適したフィルムヒーター。 発塵の少ない構造と均一な発熱で、高精度な工程管理を実現します。 【特長】 ■クリーンルーム対応の低発塵設計 ■装置内部への組込みが容易な薄型構造 ■温度ムラの少ない高精度加熱 ■長寿命で安定した性能維持 ■特注形状にも柔軟に対応可能 ※詳細はダウンロード、またはお気軽にご連絡ください。
- 企業:シンワ測定株式会社 FE部
- 価格:応相談