研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス
有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。
当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な 『研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、 基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。 KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で 水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。 各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。 【特徴】 [研究用小型真空蒸着装置] ○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、 基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能 [不活性ガス循環精製式GBOX] ○不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計 ○各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能
- 企業：株式会社エイエルエステクノロジー
- 価格：応相談
