更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮できます！！
RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。
ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高・極高真空の発生はNEGの時代！ビームを通せるNEGポンプ
『ニップルNEGポンプ』は、チャンバーの壁にピル状（φ10×t3）NEGを タイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。 チャンバー内のデッドスペースにシュラウド形を配置すれば、システムは 極高真空環境に早変わりします。 また、1000L/sを超える設計が容易なほか、ステンレス真空チャンバーに 対応することができます。 【特長】 ■無振動、無電力、無荷電粒子ノイズ ■自由設計、取付方向自由 ■NEG：St707タイプZrVFe合金 ■ピル状NEGを二重金網中に積層 ■10^-10Pa以下のXHV発生が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
容器内の気体吸出しや、真空チャンバーの粗引きにおすすめ！
『HDVシリーズ』は、通常のコンバムの真空度よりさらに高い 真空度(-98.6kPa)を達成した高真空タイプコンバム。 容器内の気体吸出し(脱気)、真空チャンバーの粗引きに適しています。 【特長】 ■真空度(-98.6kPa)を達成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
低真空の新しいベンチマーク
パーティクルや蒸気を含んだガスの処理に適した堅牢なポンプ。 ステンレス製のクローとコーティングされた真空チャンバーの耐腐食性に優れた設計。 メンテナンス頻度が少なく、またハウジングとクローは現場で簡単に取り外して洗浄が可能です。
非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。
ゲッターポンプ Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。 【特徴】 ○インシトールファーストポンプをチャンバー内に設置することで ダウンタイムを11時間から7時間に短縮される ○既存設備に改造取付が可能 ○フットプリントに影響を与えず、アップグレーディングに威力を発揮 ○パーティクル特性やフィルム特性に何らネガティブな影響を与えない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
基本流量: 4.2 - 4.8 l/min ～ 到達真空度: 4.2 - 5.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
業界トップクラスの基本性能
A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計 設置面積 0.17m2 縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化 •優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長 •拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等） •ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止 •IP33、SEMI S2およびULに準拠
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS１５００ ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ しかも1420?/hの大風量！最大真空度 200 mbar 大きな設備の真空チャンバーや一括管理のセントラルシステムなどにご使用頂いております。 ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
N813.3シリーズ 基本流量: 13 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 3.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 bar (0.01 MPa) N813.4シリーズ 基本流量: 13 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 0.5 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 bar (0.01 MPa)
業界トップクラスの基本性能
•コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け •高スループット •10m3までの大型チャンバーの排気が可能（オプション） •耐腐食ガス対応モデル（Gバージョン）
優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
N84.4シリーズ 基本流量: 4.8 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 2.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa) N84.5シリーズ 基本流量: 10 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 1.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューション。
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適な、効率的かつクリーンなソリューションとなるMINK MV シリーズ真空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力 圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。 ３～7割の省エネになるケースもあります！ ■ 排気がクリーン 圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染 されたり、汚染されたガスが周囲に排 気されることがありません。 ■ フレキシブル 可変速ドライブ （VSD）搭載。お客様用途に合わせ柔軟に適応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ！
定期メンテナンスは6年に一度のメンテナンスサイクルを実現 トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○ポンピング部に接触部が無いため 長期の使用による性能劣化がない 〇ロータリーポンプのような 油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し ○空冷方式を採用 冷却水が不要なため、設置場所を選ばない ○ガスバラスト機構の採用により水蒸気排気が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください
高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域
必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
一段式の油回転式真空ポンプ。 低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広いラインナップから適したポンプを選択することが可能。
一般産業だけでなく研究開発分野においても適した油回転式真空ポンプ。 低～中真空の排気に適し、ルーツ真空ポンプやターボ分子ポンプなどと 組み合わせることにより高真空を得ることもできます。 排気速度10～750m3 x h-1の幅広いラインナップからお客様のニーズに適したポンプを選択できます。 【主な特徴】 - 低圧でも高い排気速度 - 低い騒音レベルとスムーズな操作 - 内蔵の効率的な排気フィルターによるオイルミストの少ない排気ガス - 冷却効率の高い空冷式（標準）・オプションで水冷式も選択可能 - 省スペース、簡単な設置 - 堅牢かつ容易なメンテナンス性 - SOGEVC SV 100B以上のサイズはルーツポンプに直接接続が可能 - 高い水蒸気許容量 - 豊富なアクセサリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
モノマー、オリゴマーを吸引しても怖くない！構造がシンプルでロックしにくく、現場で分解清掃できるからメンテ費用も削減できます！
★---------------------------------------------★ ★プラスチックジャパンに実機展示します★ 12月7日より幕張メッセで開催の展示会「プラスチックジャパン」で実機をご覧いただけます。導入事例のご紹介もいたします。是非お越しください！ ★---------------------------------------------★ プラスチックの最終製品の品質を左右する押出成形機の真空供給。よくあるお悩みを解決できるのが「MINK」です。 【お悩み解決例】 ■ 水封ポンプは水処理費用が高い？ ドライ且つ非接触の圧縮原理のMINKが解決！ 封液や作動流体のコストがかかりません。高効率で省エネです。 ■ スクリューポンプ、多段ルーツポンプがロックする？ 構造がシンプルなMINKが解決！ モノマー、オリゴマーの吸引でもロックが起こりにくい設計です。 万が一の場合も現場で分解清掃が可能です。 【おすすめポイント】 デモ機あります！品質を実感してください。 世界のプラスチック産業で実績を重ねるMINKは期待を裏切りません！
トーマス史上、最小、軽量のポンプ。高効率で低インピーダンスのモーターによりバッテリー駆動のガス検知器などに好適です。
重量わずか15g のダイアフラムポンプ。高効率な低インピーダンスモーター採用により、安全防爆対応機器好適です。また、低温時の再起動性にも優れているので、屋外環境で使用するポータブルデバイスにも好適です。
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
