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冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポンプの運転を安定化させる循環システム搭載の油回転真空ポンプ。
『VRDシリーズ』は、一般産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m3/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ(二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインアップ！
当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ■ターボ分子ポンプ ■ターボ分子ポンプ真空システム ■油拡散真空ポンプ ■メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ) ■メカニカルブースタ排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を実現！
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸受形とし、 メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。 また吸気口フランジは銅ガスケットを使ったコンフラットタイプとし、 ガスケットからの軽ガスの透過や放出ガスを低減し、また高温での ベーキングを可能にしています。 【事例概要】 ■納入先：国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 関西光量子科学研究所(木津) ■納入製品：X線計測実験真空容器用高真空排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの補助ポンプとして好適！
『VM70F』は、70m3/hで200V単相を実現する直結型油回転真空ポンプです。 ポンプ本体起動スイッチまたはD-SUBによる起動可能。凝縮性ガスに 強い製品です。 冷却水工事不要で導入できます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■大排気速度で単相電源 ■リモート/ローカル起動対応 ■ガスバラスト常時間 ■空冷仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気！当社の真空排気システムをご提供した事例
大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。
【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます。 ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほとんどない簡単な構造 構造上は蒸気エジェクタとまったく同じです。また、大吸入量のものが安価で製作できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
【高品質な製品で魅力的な価格】ポンプの運転を安定化させる循環システム搭載の直結型油回転真空ポンプ（二段式）
『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ (二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
