更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持：CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク：250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット
『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット
『SR1160-310』は、ハンドが180°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種センサが付属します。 【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現
『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、 回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の内部構造によりサブミクロンの位置決めが可能に！当社の精密ポジショナーをご紹介
『FPP03-13』は、高分解能の位置決めを手動で可能にする 精密マイクロメータです。 独自の内部構造により、サブミクロンの位置決めが可能になりました。 最小読取りは0.5μm/1目盛（微動部）、軸方向負荷は最大5Kgf以下 （49N以下）となっております。 【仕様（一部）】 ■構造 ・粗動：送りネジ方式 ・微動：送りネジ＆レバー ■移動量 ・粗動：13mm（0.5mm/1回転） ・微動：0.3mm（25μm/1回転） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上！高精度チルトアライメントに好適な□100mmサイズ登場！
『ボールネジ駆動スイベルステージ』は、より高分解能での制御が 可能な製品です。 重量が2.8Kg→2.0Kgと28%減少し、ボールネジ駆動で耐久性が大幅に向上。 ウェハーのアライメント等に適しており、ワークの上下に自由な 空間が生まれ、設計の自由度が高まります。 【特長】 ■より高分解能での制御が可能 ■重量が28%Down、2.8Kg→2.0Kg ■ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サブミクロン分解能で、6自由度の正確な位置決めが可能！用途に応じた好適な組み合わせをご提案
当社が取り扱う6軸マニピュレータ『MPS/SMR/USMシリーズ』をご紹介します。 様々なステッピングモーターやサーボモーターを自由に選択可能。 “回転中心下向き”をはじめ、“逆さ使い”“全軸ボールネジ駆動”など 組み合わせが自在です。 位置決め後のワークに対する加圧を前提とした高強度設計となっており、 高分解能タイプやストローク変更など、50パターンの豊富な製作実績もございます。 【特長】 ■手のひらサイズの超小型 ■0.05μmを手動で操作 ■ズレない6軸 ■30kg高荷重もサブミクロンで ■組み合わせ自在 ■モーターを自由に選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
さまざまな部品に確実に対応！安全かつ信頼性のある操作を実現
『MG10』は、複雑でコストのかかる外部給気を必要としない、即導入可能な 電動磁気グリッパーです。 幅広い用途のニーズに対応でき、コンパクトでカスタマイズ可能。 部品検出と力調節が容易にできる内蔵型インテリジェンスにより、さまざまな サイズや重量の部品に確実に対応します。 また、電力損失または緊急停止後でもグリップを維持し、安全かつ信頼性のある 操作を実現します。 【技術仕様(抜粋)】 ■磁気分解能：通常100ステップ ■グリップ時間(ブレーキ作動を含む)：通常300ms ■電力障害時のワークピースの保持：可 ■モーター：一体型電動ブラシレスDC ■IP分類：IP67 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パワーコン(R)採用によりサイクルタイムの短縮と生産性向上に貢献！
『IKシリーズ』は、全ての構成軸にバッテリーレスアブソリュート エンコーダーを標準搭載しており、バッテリーのメンテナンスが不要の ロボシリンダ(R)組合せ 直交ロボットです。 装置立上げ時や非常停止後、故障で停止した後の装置の再起動時に 原点復帰を必要とせず、作業時間の短縮や製造コスト低減に貢献します。 【特長】 ■多彩な組合せ ■高分解能バッテリーレスアブソリュートエンコーダー標準搭載 ■高速化 ■低価格 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面上に配置した薄型ステージ！
『アライメントステージ(NTX形)』は、直動運動＋回転運動の駆動要素を 同一平面上に配置した薄型ステージです。 回転中心位置の自由設定が可能。 サイズやストローク、透過穴等用途に合わせた特殊仕様に対応もできます。 詳細はお気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■NTX-C15-AC ■NTX-C25-AC ■NTX-C35-AC ■NTX-A50-AC ■NTX-A60-AC ■NTX-A70-AC ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
