ロボットのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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ロボット(駆動モータ) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年06月10日~2026年07月07日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

ロボットの製品一覧

31~60 件を表示 / 全 77 件

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【実習教材】メカナムホイールロボット A5

【デモ機貸出可】A5用紙サイズの4輪駆動全方位移動ロボット!

メカナムホイールは、45°傾いた樽型ローラーで構成された特殊な車輪です。4つの車輪を個々に制御することで定置旋回や車体の向きを変えずに全方向移動が可能です。 センサやカメラを搭載すれば、ものを避けたり追いかけたり、まさに「ロボット」さながらの動きをします。制御用マイコンとして STM32Nucleoを標準で搭載しており、開発環境は無償の「STM32CubeIDE」や「Mbed」を利用できます。STM32用のサンプルソースをご用意しておりますので、すぐに動かしてみることができます。さらに、オプションのボードを介してRaspberryPiやJetsonNanoを搭載可能で、ROS(Robot Operating System)の実装やカメラ画像解析による自動運転など、より高度な制御実験が可能になります。これらの仕様により、本製品は研究開発用のベースロボットとして最適です。 ◎オープンソースソフトウェアでつくる制御実習ロボット ◎インテリジェントなロボット・アプリケーションの開発 ◎ROSを搭載した移動台車開発のための基礎技術の習得

  • 技術書・参考書
  • ロボット

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大和電機株式会社 修理メンテナンスのご案内

既に生産中止、廃番となったモータ(現使用と同仕様)の生産も対応したします!

当社では、モータ巻線の巻替、電子制御回路基板のリニューアル、機械加工 製品の製作など現在使用中の電動機システムのメンテナンス、さらに既に 生産中止、廃番となったモータ(現使用と同仕様)の生産を承ります。 半導体製造装置、ポンプ、産業機械、自動車など、様々な分野のモーター に対応いたします。 まずはお気軽にご相談ください。 【サービス内容】 ■モータ巻線の巻替 ■電子制御回路基板のリニューアル ■機械加工製品の製作 ■既に生産中止、廃番となったモータ(現使用と同仕様)の生産 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 発電機・伝動モータ
  • 校正・修理
  • 製造受託
  • ロボット

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SRA100/166/210/166L/120EL

世界と差をつけるスピード

ロボット作業のサイクルタイムを最短に。加速性と制振性を追求した軽量で高剛性なSRA。さらに全軸速度を向上させ、エアーカット動作も最短化。これらにより生産性が飛躍的に向上します。 そして使いやすく。最新の機械要素とモータドライブ制御で、位置繰り返しの高精度化と駆動系の信頼性を向上。 さらにコンパクトとなった本体で、より高密度な設置が可能。 定期点検や部品交換作業を容易化、メンテナンス性も向上します。 従来比20%減の軽量なロボット本体と最新のモータドライブ制御による最適化により消費電力は従来比15%減を実現しました。

  • 溶接ロボット
  • ロボット

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リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』

ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能!リンク式クリーンロボット

『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、  180度位置センサを装備 ■チャック:アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • その他搬送機械
  • 搬送・ハンドリングロボット
  • ロボット

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パラレルリンクロボット「デルタロボット」:軽量、無潤滑

樹脂とアルミの軽量設計、無給油&メンテナンスフリー

「デルタロボット」は、イグスの歯付きベルト駆動リニアアクチュエータをベースに使用した組立式のパラレルリンクロボットです。樹脂とアルミの軽量設計で、無潤滑・無給油・メンテナンスフリーで動作します。 - 無潤滑・無給油・メンテナンスフリー - 樹脂とアルミの軽量な構造 - 60ピック/分、又は30ピック/分の搬送能力 - 作業範囲Ø360mm、又はØ660mm 部品単体でも、組立品での販売も可能です。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット
  • 組立ロボット
  • ロボット

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ローコスト6軸垂直多関節ロボット

ローコスト・小型・軽量の6軸垂直多関節ロボットです。

可搬質量約3.5kgながら小型を実現しており、工場や実験室、その他各種用途での使用を目指して設計開発されたものです。 200V駆動小型ABSサーボモータと24V駆動のACサーボモータを使用し、全軸にハーモニックギアを採用しており、高性能を実現しています。 新開発の小型サーボドライバには画像センサSPSとのインターフェースを組み込んでおり、画像処理システムとの連携したシステムが極めて簡単に出来上がります。

  • 多関節ロボット
  • ロボット

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【技術資料】単軸ロボット ※無料進呈

特殊な単品やモジュール設計製造など、多様な製品形式により各種ニーズに対応可能!

本資料はハイウィン株式会社が豊富に取り扱う「単軸ロボット」について ご紹介しています。 長年培った製造技術を生かし、自社研究開発のボールねじと、 リニアガイドウェイをモジュール化し、取付けやすい、コンパクト、高精度、 多様な規格の製品を製造。 広範囲な自動化設備に適用可能です。 【掲載内容(抜粋)】 ■総合解説 ■KK型 ■SK型 ■KA型 ■KS型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他産業用ロボット
  • ロボット

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シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能(本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています)

  • その他半導体製造装置
  • ロボット

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不二越 超速省エネ スポット溶接ロボット『SRA166/210』

ロボット作業のサイクルタイムを最短に!加速性と制振性を追求したスポット溶接ロボット

不二越製『SRA166/210-01A』は、軽量かつ剛性が高く、ロボット作業の サイクルタイムを最短にしたスポット溶接ロボットです。 全軸速度を向上させ、エアーカット動作も最短化。生産性が飛躍的に向上しました。 また、最新の機械要素とモータドライブ制御で、位置繰り返しの高精度化と 駆動系の信頼性も向上。使いやすく、コンパクトとなった本体で、 より高密度な設置が可能です。 【特長】 ■生産性が飛躍的に向上 ■A-trac4を装備 ■高精度化と駆動系の信頼性を向上 ■省エネ・省資源 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ヤマハリニアモーター単軸ロボット MF15/MF15D

ヤマハリニアモーター単軸ロボット MF15/MF15D

薄型コンパクト・高推力・ロングストロークのMFタイプに さらにコンパクトなMF15/MF15Dがラインナップ 【特徴】 ○高可搬・高推力  可搬質量15kg、定格推力54Nと高スペックを実現 ○高速・ロングストローク  最長ストローク4000mm、最高速度2500mm/secを実現 ○軽量コンパクト   100×80mmの中に全ての主要部品を凝縮   コンパクトで効率の良い駆動が可能 ○ダブルキャリア標準対応  ダブルキャリアタイプを標準ラインナップ  同軸上に複数のキャリアをセットでき、設置面積を省スペース化に貢献 ○コンプリートキットで即稼働  モータ・位置検出スケール・コントローラをパッケージ   購入したその日から面倒なセッティングも要らずすぐに使用可能 ○セミアブソで原点復帰不要 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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アライメントステージ(NTX形)

直動運動+回転運動の駆動要素を同一平面上に配置した薄型ステージ!

『アライメントステージ(NTX形)』は、直動運動+回転運動の駆動要素を 同一平面上に配置した薄型ステージです。 回転中心位置の自由設定が可能。 サイズやストローク、透過穴等用途に合わせた特殊仕様に対応もできます。 詳細はお気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■NTX-C15-AC ■NTX-C25-AC ■NTX-C35-AC ■NTX-A50-AC ■NTX-A60-AC ■NTX-A70-AC ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取出ロボット『Pシリーズ』/(株)スター精機

オプション機能で更なる汎用性の充実!安全・安心がパワーアップした取出ロボット

『Pシリーズ』は、ベーシックを強化した新仕様の取出ロボットです。 可搬重量最大60%アップで重量物にも対応可能になり、高性能サーボ ドライバー・モータで振動を最大50%カット。 メンテナンスフリーを実現する「バッテリレスアブソリュートエンコーダ」 をはじめ、「3軸NCユニット」など、オプション機能もご用意しています。 【特長】 ■可搬重量最大60%アップで重量物にも対応可能 ■スムージング機能でサイクル短縮 ■高性能サーボドライバー・モータで振動を最大50%カット ■QRコード表示によるオペレーター支援機能 ■横走行トラバース+200mm延長を無料化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他産業用ロボット
  • 搬送・ハンドリングロボット
  • ロボット

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TSCR3060N(2インチウェーハ搬送)

搬送部の小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット:フットプリント75%(□115x130mm), 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能

  • その他半導体製造装置
  • ロボット

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自動はんだ付ロボット(MINIMAX2)

自動はんだ付ロボット(MINIMAX2)

多目的直交4軸ツール ●標準仕様で動作範囲300×200×100(X,Y,Z軸)を  確保し高低差のあるワークにも対応可能。  また、仕様に合わせて動作範囲をカスタマイズ可能 ●駆動モータにACサーボモータを採用しメンテナンス  フリーを実現。 ●各軸はボールネジ使用により高精度な動作を可能とし、  低速移動は0.1mm/sを実現。  スライドはんだ付けの安定性とタクトタイム短縮。 ●鉛フリーはんだ付けなどに効果的なオプションである  プリヒーターなどの温調器を3台まで内蔵可能。 ●ツールメカ部とコントローラー部が分離可能なので、  導入後のインライン化及びセル化にも簡単に対応可能。 ●ツール部は直線、円弧捕間ができ、多様なスライド  はんだ付け、ポイントはんだ付けに対応可能。 ●コントローラーは多機能なMAXEEDを搭載。  はんだ付け管理ソフト”TSCO"とも接続可能。

  • はんだ付け装置
  • 基板加工機
  • ロボット

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円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』

ウエハの大気中搬送に対応!本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg

『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0~180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境:クリーンルーム内(大気中温度10~35度、湿度70%RH以下) ■アーム:シングルアーム(材質:アルミ・CFRP・セラミック) ■可搬質量:3kg(ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • ロボット

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不二越 超速スポット溶接ロボット『SRA100/166/210』

軽量コンパクトなボディ!高密度設置が可能な超高速スポット溶接ロボット

不二越製『SRA 100/166/210/166L/120EL』は、ロボット作業のサイクルタイムを 最短にする高速スポット溶接ロボットです。 加速性と制振性を追求した軽量で高剛性なSRA。さらに全軸速度を向上させ、エアーカット動作も最短化。これらにより生産性が飛躍的に向上します。 最新の機械要素とモータドライブ制御で、位置繰り返しの高精度化と駆動系の信頼性を向上。さらにコンパクトとなった本体で、より高密度な設置が可能です。 【特長】 ■加速性と制振性を追求 ■定期点検や部品交換作業を容易化 ■メンテナンス性向上 ■省エネ・省資源 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』

従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現!

『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • その他搬送機械
  • 搬送・ハンドリングロボット
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【導入事例】精肉・鮮魚の高速自動仕分け!日配品も!!

機械仕分けが困難な豆腐や卵、プリンなどの損傷しやすい商品が仕分け可能!

JA全農が展開されているAコープ様には、これまで仕分け作業に使用されていたDPS(デジタルピッキングシステム)の老朽化に伴い、作業の自動化を検討された結果、リニソートをご採用いただきました。 機械仕分けが困難な豆腐や卵、プリンなどの損傷しやすい商品が仕分け可能というリニソートの特長を評価していただきました。

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メカナムロボット『TDVX-AR』

メカナムホイール使用!全方向移動のスターターキット

『TDVX-AR』は、大学をはじめ企業の各研究機関等で 幅広く受け入れられている、全方向移動のシュミレーターキットです。 足周りはグリップに優れたメカナムホイールを使用し、 制御基板は、Arduino UNOを採用していますので 本格的なC言語でのロボット制御が学習ができます。 全方向移動については、オープンソースでご提供しますので カスタマイズが自在にできます。 【特長】 ■ArduinoUNO採用 ■無線コントローラから手動制御できる ■速度Duty比をコントローラから制御可能 ■サンプルソースを変更することで、自由にカスタマイズ可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他電子部品
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自動はんだ付ロボット MINICROSS TX-831

高性能コンパクトツール

動作範囲は間口約400mmながら、X軸230mm 、Y軸250mm 、Z軸80mmを確保し、省スペースでワイドな動作範囲を実現。セル作業での活スペースをつくる、間詰めに貢献します

  • はんだ付け装置
  • ロボット

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追従運搬ロボット『THOUZER』

物流の人手不足に救世主!追従運搬ロボットが登場!

『THOUZER』は、作業者に追従し、運搬作業をサポートするロボットです。 人やカートに追従することで運搬効率が向上し、 既存の手押し台車と併用することで省人化に貢献します。 障害物回避機能を搭載しており、 広視野センサーで周囲の障害物を認識し衝突を回避します。 【特長】 ■省人化 ■可搬重量120kg ■狭幅通路対応 ■簡単操作・即戦力 ■無人ライン走行も可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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芝浦機械株式会社​『制御システム事業部の総合案内』

好適な制御ノウハウにより、機械の性能・機能の向上に貢献!

制御システム事業部は、機械のコントロールを多彩な制御システムと技術力で サポートを行っております。 様々な製造現場の自動化、省力化、効率化に貢献する「システムロボット」をはじめ、 あらゆる機械の駆動源として活躍する「サーボシステム」や、「プログラマブルコントローラ」、 「製品事業部向けコントローラ」などで、さまざまなニーズに幅広く対応可能です。 【事業内容】 ■システムロボット ■製品事業部向けコントローラ ■サーボシステム ■プログラマブルコントローラ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 計装制御システム
  • その他産業用ロボット
  • リニアモータ
  • ロボット

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サイドエントリータイプ 高速取出ロボット『TSXAシリーズ』

ハイサイクル化を実現!機体構造の最適化を追求したサイドエントリータイプ取出ロボット

『TSXAシリーズ』は、2つのモータを同時動作させる増速機構を採用したことで取出しタイムを短縮、ハイサイクル化を実現した取出ロボットです。 従来のサイドエントリータイプ取出ロボットの常識を打ち破る斬新なデザイン。 横行軸の走行範囲は1500m~最長4000mまで任意に選択可能です。 【特長】 ■高速 ■あらゆる工場レイアウトへ対応する機械設計 ■クレーン環境に最適なサイドエントリー方式 ■使いやすさに安心を盛り込んだハイスペックコントローラ ■受渡装置などの後工程機も一体で制御可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他産業用ロボット
  • プラスチック
  • その他
  • ロボット

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ヤマハリニア単軸ロボット

コストとパフォーマンスを高い次元で融合した全く新しい高性能単軸ロボットです。

■新世代の駆動コンポーネント『シャフトモータ』  コンパクトながら高推力を誇る新世代の駆動ユニットです。マグネットシャフト内に配列された磁石から発生する磁束をムービングコイルが無駄なくキャッチ。高い効率で推力に変換します。しかも、フレームが不要なため、コンパクトかつ軽量です。 ■リニアスケール  ヤマハの卓越した磁気信号検出技術に支えられた、独自開発の磁気式スケールです。1μmの高い分解能と低コストを両立しています。スケールは保磁力が高く、熱膨張や経年変化に強い金属製。磁気式ですからグリスや切削液がかかるような悪環境でも問題無く使用可能です。 ■断熱構造  発熱による問題が起こりがちなムービングコイル方式ですが、PHASERでは断熱層を設けることによりムービングコイルから発生する熱をテーブルに伝えにくくしています。またムービングコイルには放熱フィンが一体化され効率よく放熱を行いますので、安心してお使いいただけます。

  • その他産業用ロボット
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半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070:シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071:多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131:中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200:シリーズ最大の高耐荷重仕様

  • 半導体検査/試験装置
  • その他半導体製造装置
  • その他画像関連機器
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SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む) アームバリエーション:100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能(オプション)

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STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む) アームバリエーション:100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能(オプション)

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EMS2 電子モータースターター

この『EMS2 電子モータースターター』は、モータ制御で使用している電磁開閉器に対して、省スペース、長寿命を実現します。

『EMS2 電子モータースターター』は、従来のモータースターターの すべての機能を、1個のデバイスに組み合わせたものです。 SmartWire-DT インターフェースで、従来の制御配線を置き換え、 省配線システムを提供。 更にEMS2のデータをSmarWire-DTにて上位機器へ通信できます。 幅は、わずか22.5mmで、最大3kWのモーターを駆動するアプリケーションで使用することができます。 【特長】 ■従来の制御配線を置き換え、省配線システムを提供 ■ハイブリッドスイッチングテクノロジーで接触寿命は10倍、約3,000万回動作 ■0.06kW~3kW(400V 50Hz)のモーターを保護 ■電子モータースターターは、正転と反転の両方の回転に対応  ■デュアルチャンネル設計により、SIL3/PLe までの安全な停止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 2020-04-15_10h48_40.png
  • 2020-04-15_10h48_46.png
  • 2020-04-15_10h48_50.png
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  • EMS2--.JPG
  • キャプチャ.JPG
  • その他電子部品
  • 制御盤
  • その他FA機器
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新型多機能型農業ロボット「雷鳥2号」を発表

耕起もロボット化!省力化農業を更に加速、耕起・収穫などを完全電動で行うことが可能

株式会社テムザックは、新型多機能型農業ロボット『雷鳥2号』 (耕起アタッチメント搭載)を開発いたしました。 当製品は、アタッチメントを付け替えることで、耕起・収穫などを完全電動で 行うことができる多機能型農業ロボット。 比較的小型で、前後のみならず横移動やその場旋廻など、非常に小回りが 利くため、不整形地や小規模圃場など耕作放棄されてしまいがちな 条件不利農地でも活用できます。 【特長】 ■多機能:アタッチメント交換で耕起以外の用途も ■機動的:小回り(水平・旋回移動)が利き条件不利地にも対応 ■小型:軽トラックに積載可能 ■電動:石油を燃やさず環境にも優しい ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』

テフロンコーティングで高剛性アーム仕様!ハンド部に透過式マッピングセンサ装備

『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部:テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持:セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御:RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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