更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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盤への埋め込みに最適。薬液管理の流量を精密に測定。
半導体製造における薬液管理では、薬液の正確な流量制御が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。薬液の流量が不適切であると、ウェーハの洗浄不良やエッチングの不均一性など、様々な問題が発生し、最終製品の性能に悪影響を及ぼす可能性があります。小型高精度面積式流量計 NFMシリーズは、これらの課題に対し、精密な流量測定と盤への容易な組み込みで貢献します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・洗浄液供給ライン ・各種ガス供給ライン 【導入の効果】 ・薬液流量の精密なモニタリングによる品質向上 ・盤内スペースの有効活用 ・RoHS指令対応による環境負荷低減
様々な業種での流量計測に好適！ガラス管にかわる安全設計の全金属製微少流量計
『MPシリーズ』は、全金属製面積流量計の堅牢、安全な特徴を活かし、 さらに微少流量を計測出来るよう設計されています。 瞬時流量指示、瞬時流量アナログ電流出力、警報リレー接点出力と プラント装置の各種用途に適用できる豊富な付加機能をご用意。 工業用水、工業薬品、試薬液、各種気体などの液体・気体に対応しており、 様々な業種での流量計測に適しています。 また、金属テーパ管面積流量計「MMシリーズ」もラインアップしています。 【特長】 ■ガラス管にかわる安全設計 ■微少流量を計測が可能 ■各種用途に適用できる豊富な付加機能 ■工業用水、工業薬品などの液体・気体に対応 ■様々な業種での流量計測に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
盤への埋め込みに適した小型高精度流量計で、薬液管理をサポート。
半導体製造における薬液管理では、正確な流量測定が製品の品質と安全性を確保するために不可欠です。薬液の流量が不正確だと、ウェーハの洗浄やエッチング工程に悪影響を及ぼし、歩留まりの低下や製品の不良につながる可能性があります。小型高精度面積式流量計 NFMシリーズは、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・洗浄液の流量管理 ・エッチング液の流量制御 【導入の効果】 ・正確な流量測定による品質向上 ・リークの低減による安全性の向上 ・設置の容易さによる作業効率の改善
工場や空調における冷却水・温水・処理水・プロセス排水や、非満水の流量計測が可能な製品など幅広く展開
当社では、井水滅菌処理・工場排水処理・プロセス排水の管理・中水利用システムの原水管理など、様々な水管理アプリケーションをカバーする「各種流量計」を展開しています。 【製品ラインアップ】 ◎電磁流量計『WXシリーズ』（口径25～300mm） ■廉価版から高機能機種までラインアップが豊富 ■豊富な口径・ライニング・電極材質を選択でき、各種液種に対応 ■水処理、空調、熱源設備などに好適 ◎非満水電磁流量計『FG』（口径150～300mm） ■非満水状態でも計測が可能。国内約2000台の納入実績 ■広いレンジアビリティ、日本産業規格JIS B 7557に準拠 ◎超音波流量計『TRAシリーズ』（口径40～100mm） ■電源仕様／バッテリー仕様の2種類をラインアップ ■純水や海水計測に好適 ◎小型電磁流量センサ『VNS』（口径5～20mm） ■軽量・コンパクト・リーズナブルで装置組込に好適 ■電磁定量ポンプの脈動流をダイレクトに流量計測 ■次亜塩素酸／苛性ソーダの薬液計測に対応 ※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。お問合せもお気軽にどうぞ。
水処理プロセスにおける薬剤注入量を可視化し、高精度に管理。多様な液体・気体に対応。
水処理業界では、効率的な水質管理のために、薬剤の正確な注入が求められます。特に、注入量の過不足は、処理効果の低下やコスト増につながる可能性があります。当社のガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計は、液体・気体の流量を高精度に可視化し、薬剤注入の最適化と安定運用を実現します。 【活用シーン】 ・排水処理設備における凝集剤の定量注入 ・浄水場での塩素・消毒剤の流量管理 ・工業用水処理における各種薬液の供給制御 【導入の効果】 ・薬剤使用量の最適化によるランニングコスト削減 ・水質管理のばらつき低減・品質安定化 ・処理プロセスの再現性向上
