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ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用！専用アプリでデータの管理と制御が可能です
『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。 ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、 グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも 感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。 この他にも、コールドカソードタフゲージ「CCTG200C」などもご用意 しております。 【特長】 ■コンパクト設計 ■視認性の良いシンプルなLED表示 ■ピラニの自動ゼロ点調整機能付 ■大気圧での精度：±5％ ■最大測定圧力：1.2 x 10+5 Pa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
容易に取付け可能！筺体・電源等を省略した新しいかたちのヌード型複合真空計
『SG701シリーズ』は、各真空計コンポーネントを分離して装置への 組み込みを簡素化した装置組込み型の真空計です。 B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。 また、グリッド・コレクタを常時、通電加熱した計測（タフモード）を オプションとしてご用意しており、汚染劣化・コレクタの感度低下を 低減いたします。 【特長】 ■小型設計 ■容易に取付け可能 ■高機能 ■大気圧での精度：±5％ ■一枚のボード型コントローラで最大4式の測定子を接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度絶対圧真空計
■F.S.レンジ：1.33×10<SUP>1</SUP>〜3.33×10<SUP>6</SUP>Pa ■精度：読み値の0.05〜0.12％ ■有効数字：6桁 ■45℃温度制御
幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします。
半導体やFPD製造を始めとする様々な製造プロセスに用いられるガスの、測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツ・サブシステムの開発・製造・供給、また反応性ガス発生器や電源の開発・製造・供給を行っている日本エム・ケー・エス株式会社のご紹介です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電池式で真空チャンバ内に丸ごと入れて真空ロガーとしても使用可能な真空計。 真空プロセスの圧力変化を可視化できます！
温度補償型携帯型THERMOVAC TM 101はピエゾ/ピラニ コンビネーションセンサーを備え、1200~5*10-4mbarのレンジで全圧測定ができます。 この装置は電池駆動式で完全な真空下でも動作させることができます。 圧力は全測定レンジにおいて連続的に表示できます。 統合されたメモリー機能によって、2000までの測定結果が保存・表示できます。 お客様の利点 ■測定レンジ 1200~5 x 10-4mbar(7桁） ■直接真空雰囲気で使用可能 ■USBインターフェースを介してデータロギング可能、さらにメモリーは最大2000測定結果 ■USB経由でオンライン測定可能；測定データ出力可能 ■標準9V電池または12V ACアダプター電源 ■圧力単位はmbar, Torr, Pascalから選択可能 ■データ保存とPC分析用のウィンドウズ用ソフトVacuGraph（オプション）
堅牢で柔軟、容易な保守性のペニング真空計。
堅牢な設計と柔軟性が特徴な新型ペニング真空計。フランジタイプ、出力とインターフェースを選択可能です。コンパクトな設計でスペースが重要なアプリケーションにも最適です。 メンテナンスは容易で、工具は不要。ピンを抜くだけで簡単に測定セルやエレクトロニクスを交換可能です。幅広い測定範囲にわたって容易にモニタリングと制御が可能。スループットを向上させダウンタイムを短縮、システムを最適化できます。
高精度デジタル隔膜真空計のことならお任せください。
先進技術の粋を凝縮した抜群の性能と高機能 【特徴】 ○表示分解能：６ １／２桁（従来の約２桁向上） ○高速データ通信、自動零補正が標準で可能 ○精度：０．１％Ｒ ○容積が従来の１／２以下 ○パルス信号伝送のためノイズ耐性圧倒的向上 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
これ一台で真空度も気体成分も計れます！残留ガス成分も測れる真空計、真空装置の健康診断に！
Smart Vacuum Gauge（S Gauge）SC-22は、弊社が開発した新方式の、残留ガス成分と全圧（真空度）の両方を計れる自動真空計です。 RGA（Qマス）の働かない荒引き真空でも気体成分計測リークチェックができます。コールドカソードゲージがベースなので、フィラメントが無くタフな環境でも使用できます。 全圧は一体に組み込まれたワイドレンジ真空計で大気圧から超高真空までの真空ができます。残留ガス成分の測定は全圧が約10Pa以下で自動的に始まります。 【特長】 ■面倒な操作は不要 ■ポータブル ■低真空でも残留ガス測定が可能 ■タフで汚れにも強い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾-7Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ■イージーメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！
広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセットアップ ■有機ELディスプレイにより高視認性 ■16種類のガスに対応 ■フィラメント２本を標準装備（断線を防ぐ保護機能付き） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減！
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10?Pa ～ 10-?Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ■イージーメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空ポンプメーカーの作る真空計：高機能、高信頼、高効率
●高機能 最先端技術の組合せによる広い測定範囲(1600 – 5・10-10 hPa (mbar)) ●信頼性 高い信頼性、堅牢性、耐衝撃性 ●効率性 モジュラー設計、プラグアンドプレイのセンサーにより稼働時間を最大化
毛細管球部の残留気体を圧縮し、微小圧力を拡大して真空度を測定するもので、簡単な回転操作で気体の種類に関係なく直接測定できます。
本器、回転式マクラウド真空計は、測定部分を金属ケースでおおい測定部分を回すことによって、毛細管部の残留気体を圧縮し、その生じた圧力、液柱差によって真空度を測定する真空計です。
豊富な機能・計測画面を有したタッチパネル式卓上型の製品をご紹介！
『NMT-2000-01/02/05』は、中真空領域(1.0×10^-1～2.0×10^3Pa)が 測定可能な気体の熱伝導を利用した熱伝導式の真空計です。 表示画面は読み取りやすいタッチパネルTFTカラーLCD表示。 画面をアナログ表示、トレンドグラフ表示などへ切替可能。 計測値はメモリーカードへ保存でき、PCへも接続ができます。 乾電池でも駆動するため電源がとれない場所でもご使用いただけます。 また、センサ部にはフィルタ(脱着可能)を装備しています。 【特長】 ■メモリーカードへ保存可能 ■乾電池でも駆動 ■フィルタ(金網)装備 ■レコーダ出力装備 ■移動平均機能装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
測定範囲：1×10^2～1.3×10‒1Paのピラニ真空計
化学的に安定しているAu を細線にメッキした抵抗体を使用し、充分な品質管理により経年変化が極めて少ない、高安定のロングライフタイプで、温度補償回路付です。メータリングリレーにより、装置のインターロック等各種制御に最適です。
測定範囲：2×10^3～2×10‒1Paのピラニ真空計
独自のピラニ球を使用した低真空域もカバーするピラニゲージで、測定範囲は0.14Pa 〜2.6kPa です。 ソリッドステートサーキットを採用していますので、電源変動(90V 〜110V) に対しても極めて安定な動作を示し、信頼ある測定値を指示します。
測定範囲：9.9×10‒2～1×10‒7Paの電離真空計
多様な用途に対応可能な多機能、高精度の電離真空計です。外部からのコントロールをはじめ、通信機能、BCD 出力等オプション機能を充実させ、各種制御、FA 化に貢献します。
測定範囲：2.7×10‒1～1.3×10‒5Paの電離真空計
自動電子電流制御回路、低ドリフト対数増幅回路を内蔵、大きく読み取りやすい表示部に対して外観は小型でシンプル、レンジ切替不要等簡単操作の電離真空計です。
大気圧から超高真空までの計測が可能！広帯域型の真空計です。
XGS600真空計は色々なタイプのトランスデューサと組み合わせることにより、大気圧から超高真空までの計測が可能です。キャパシタンスダイアフラムゲージによる高精度、耐腐食性の計測もできます。最大12個までのトランスデューサと接続が可能、同時に8個まで表示することができます。8個のセットポイントとアナログ出力があり、RS232/485も標準装備です。詳しくはお問い合わせください。
信頼性が高く、高真空の測定が容易！軽量でコンパクト設計なデジタル真空計
『VA60シリーズ』は、高精度真空センサーを内蔵しており、 連成計では計測ができない高真空の測定が簡単に行える電池式デジタル真空計です。 LCD表示機や、オートオフ機能、リークチェック機能など 各種便利な機能を多数搭載。OEM向けなどのカスタマイズも可能です。 【特長】 ■真空の正確な数値管理が可能 ■耐圧構造 ■電池交換が簡単 ■暗い場所でも見やすいバックライト搭載 ■単位切り替え機能もしくは、Pa固定単位の選択が可能 ■真空ポンプの検査に好適 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
あらゆる分野の真空装置に必要不可欠な計測器を豊富にラインアップ！
『真空計総合カタログ』は、主に広領域真空計や電離真空計、ピラニー 真空計・ペニング真空計・真空測定球の製造、販売を行っている、 若井田理学株式会社の真空計を掲載した総合カタログです。 熱伝導型真空計「ピラニー真空計」や「電離真空計」など、明日の技術に お応えする、幅広い真空計を掲載しております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【掲載内容】 ■デジタルピラニ真空計 ■ピラニー真空計 ■電離真空計 ■広領域真空計 ■ディスチャージ真空計（ペニング型） など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
LED表示で見やすい！システム制御もできるピラニ真空計
『デジタルピラニ真空計』は、電熱線を熱し、その温度変化によって真空度を測定する計器です。1×10⁴～1×10⁻¹Paまでを測定することが出来ます。 視認性に優れたLED表示となっており、測定値が見やすくなっております。 また、接点を4点搭載しているのでシステム制御にも対応可能。 軽量コンパクトな「PGD-001型」と、LCD表示のリレー接点の測定値を 容易に確認できる「PGD-0024H型」をラインアップ。 用途に合わせてお選び頂けます。 【特長】 ■LED表示 ■接点を4点搭載 ■オプションにてトレーサビリティ証明書の発行が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の特殊ピラニー球を採用！2K Paから測定が可能なピラニー真空計
「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱されたフィラメントの 電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。 『PG-1F』は、2K Paから測定が可能。 フィラメント断線の表示ランプが付いています。 あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており 利用頻度が高く、又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。 その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。 【特長】 ■2K Paから測定が可能 ■フィラメント断線の表示ランプが付いている ■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない ■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示 ■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の特殊ピラニー球を採用！コンパクトタイプのピラニー真空計
「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱された フィラメントの電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。 『PG-3F/PG-4F』は、メーターと本体（アンプ）が一体型となったコンパクトタイプ。 「PG-4F」は 「PG-3F」に比べてメーター部が小さくなっています。 あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており利用頻度が高く、 又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。その他、お客様のご要望に 応じて改良も可能です。 【特長】 ■メーターと本体（アンプ）が一体型のためコンパクトで安価 ■PG-4FはPG-3Fに比べてメーター部が小さい ■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない ■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示 ■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の特殊ピラニー球を採用！リレー接点を1点装備した小型のピラニー真空計
「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱された フィラメントの電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。 『PG-2CR』は、リレー接点付きタイプ。 PG-2B等のスタンダードタイプに比べ小型化していますが、 リレー接点を1点装備させる事で、システム制御にも使用できます。 あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており 利用頻度が高く、又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。 その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。 【特長】 ■PG-2B等のスタンダードタイプに比べ小型化したリレー接点付きタイプ ■リレー接点を1点装備し、システム制御にも使用可能 ■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない ■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示 ■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
軽量で取扱いが簡単！コンパクトなぺニング真空計
『DG-1B』は、標準的な機能のぺニング真空計を小型化したコンパクトタイプです。 「ペニング真空計」は、磁場中における放電電流を検出して測る真空計です。 冷陰極放電なのでフィラメントの焼損もなく、一気圧でスイッチを入れても 故障を起こすことはありません。 取扱いが簡単で堅牢なので、工業用計器として真空装置等に手軽に幅広く 使用出来ます。その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■測定球はマグネットに特殊合金を使用 ■小型・軽量で取扱いが簡単 ■測定球フィラメントの焼損等がない ■圧力のインジケーターとして容易に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
制御基板1枚でピラニセンサー4回路分をサポートする超小型ピラニ真空計！コストダウンにも貢献します！
当社では、アンペール社製の「ピラニ真空計」を取扱っています。当製品は制御基板1枚でピラニセンサー4回路分をサポートする超小型のピラニ真空計です。ピラニセンサー部と制御部を分離してコストダウンが可能なほか、インターフェイスにＥthe-CATを採用しており、アナログ通信回路をデジタル通信回路に変換するデバイスとソフトの対応にて実現しています。 【特長】 ■超小型ピラニ真空計 ■ピラニセンサー部と制御部を分離してコストダウン ■インターフェイスにEthe-CATを採用 ■真空⇔大気サイクルの高再現性 ■真空引き時、大気から10000Paに到着する時間の差異 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
外装は勿論の事、内部機構のブルドン管までステンレス製の真空計です。 使用流体・過酷な環境での使用にお勧めです！
当社で取り扱いしている真空計は、内部機構のブルドン管まで含め、オールステンレス製の商品となり、過酷な環境下でも、既存の真空計と比べて腐食しずらい構造となっています。 このVGシリーズは、下記スペックにてご提供が可能となっております。 ・サイズ φ４０・φ５０ ・接続口 縦型（ボトム接続） 横型（バック接続） ・耐振箇所での使用 グリセリン入り グリセリン無し 過酷な環境下での使用をご検討されるのであれば、是非、当社のVGシリーズをご使用下さい。
