製造装置用大容量ＲＦ同軸コネクタ13.56Mhz~
ＲＦ電源からプロセスチャンバー間の高周波同軸接続箇所において、ワンタッチ接続且つ、組立時の再現性にもっとも有効とされる接続です！
製造装置の種類の中でもエッチャーやＣＶＤ等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット（ＲＦ電源～マッチングボックス～プロセスチャンバー等）を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。 その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトップメーカーに多く使用されております。 また、コンタクトスプリングは安定した多面接触を可能とし、作業者が変更した場合でも安定した接触をワンタッチにて接続できることから、満足頂けるコネクタを提供させて頂いております。また、一般市販品においてはお客様の必要な容量や形状を万足するコネクタがないことが多々御座いますが、ＮＢＳではご要望に応じた大容量同軸コネクタを提供させて頂いております。
- Company：ｎｂｓ株式会社 本社
- Price：応相談
