ウェハトランスファー Wafer Transfer
25枚のウェハを、1度にキャリアやボートに移載させる装置
キャリアに挿入された25枚のウェハを、1度にキャリアやボートに移載させる装置です。※オリフラあわせ機能内蔵。異なるウェハ厚さ(275~600um)混在可能で、高速スループット25秒/回を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- Company:玉川エンジニアリング株式会社
- Price:応相談
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25枚のウェハを、1度にキャリアやボートに移載させる装置
キャリアに挿入された25枚のウェハを、1度にキャリアやボートに移載させる装置です。※オリフラあわせ機能内蔵。異なるウェハ厚さ(275~600um)混在可能で、高速スループット25秒/回を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。