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金型に形成された微小な凹凸を樹脂やガラスに転写するNIL（ナノインプリントリソグラフィー）サービスです。
モールド：Si・石英・Niと各種用途に合わせた、微細モールド（金型）を提供します。 離型処理：転写精度や効率を向上させる為の、モールドへの離型処理も対応可能です。 熱インプリント：熱可塑性樹脂を転写することにより、微細かつ、高アスペクト比の構造体を短時間・低コストで製作することができます。 光デバイス、磁気デバイスなど様々なデバイスへの転用が可能です。 UVインプリント：大面積への転写性、プロセス速度に優位性があり、半導体プロセスの代替技術として注目されています。
自社設計ドライアイスブラスト装置を「販売」「レンタル」「出張洗浄」「受託洗浄」4つの視点から最適な洗浄ソリューションを提案します
〔特徴〕 ・一般的なペレットタイプ(ドライアイス径φ３ｍｍｘ１０ｍｍL )に対し、０．３ｍｍ粒まで細かくすることにより精密部品の最適な洗浄が可能です。 ・汚れ、被洗浄物に合わせて最適な洗浄方法を提案いたします。 ・自社製装置はサイフォン式ですが、直圧式の他社装置の取り扱いもしております。 ・お客様のニーズに合わせて機種選択、洗浄相談に応じます。
主要前工程装置用の高額パーツ・電源・真空ポンプ等々を修理 / 再生 / オーバーホールします。
〔特徴〕 ・CMP、イオン注入、CVD、スパッタリング、フォトリソグラフィー、エッチング等主要前工程装置に対応 ・ディスコン品への対応、修理 / 改善品提案 ・老朽化装置の延命対策の提案 ・現地取り外し、取り付けに対応
