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ナノクラスの微細な変化も見逃さない！半自動で欠陥を判別して可視化することが可能
『ムラビューワーシリーズ』は検査の常識を変える 「見えない・見えにくい」欠陥を「くっきり・鮮やかに」に 確認できる新感覚のスコープです。 ガラス・水晶・サファイア等の表面に残るナノサイズの微細な 研磨痕・オレンジピール・スクラッチや内部にある微細な 脈理・結晶欠陥等も、目視による検査・評価が可能になり、表面粗さ の管理・研磨条件の設定、蒸着後の歩留まりが確実に向上します。
録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。 ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の 「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ」など、 気になるウェハ・エッジ状態を見ることが可能。 高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載し、 エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示ができます。 【特長】 ■ウェハサイズは4インチ～12インチに対応 ■高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載 ■貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応 ■エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
