Last Updated： Aggregation Period:2026年04月08日～2026年05月05日
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ACサーボモータステージ搭載！XYZ軸を高速駆動させながら測定データ収集などが行えます
『RAP3-ACシリーズ』は、測定/加工対象物を固定し、各種センサや加工ツールを 高速駆動させたい要求に対応したACサーボモータステージ搭載タイプの 精密卓上型3軸ロボットです。 お客様の様々なご要望や仕様に合致したカスタマイズ対応が可能。 ガントリー(門型)方式の採用により、高速にXYZ軸を駆動させながら、 高精度に位置ごとの測定データ収集や加工が行えます。 【特長】 ■ACサーボモータステージにより、センサヘッドやツールを高速・高精度XYZ移動 ■高速駆動/高精度トリガ機能 ■セミクローズドループ制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット
『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイプACサーボモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ＡＣサーボモータ・産業用ブラシレスモータ・小形ギヤードモータ
○マシン可能性を引き出すサーボモータ ○速い 業界最速の速度応答周波数２.0kＨｚを実現！ 独自の新開発ＬＳＩによる演算速度 UPとトルクフィードフォワードによる高応答制御を搭載。業界最速の速度・位置決め応答性により最速の装置を実現します。また、応答遅れを小さくする事で最も振動を起こしにくい装置を実現できます。 ○賢い 業界最速の簡単セットアップ高性能リアルタイムオート チューニングを搭載！ 取り付け後、数回の運転でチューニングが自動完了します。 応答性を調整したい場合は、１つのパラメータの値を変える だけで簡単チューニングが可能です。セットアップ支援ソフト のゲイン調整モードを使用すると、さらに最適な調整が可能 です。サーボが不安定状態になると自動でゲインを落とす自 動発振抑制機能を搭載し、装置ダメージを少なくします。垂 直軸、摩擦大（ベルトなど）各種機構に合わせたモードもご 用意しました。 モード選択と剛性選択だけで簡単最適調整が可能です。
ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg
『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0～180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境：クリーンルーム内(大気中温度10～35度、湿度70％RH以下) ■アーム：シングルアーム(材質：アルミ・CFRP・セラミック) ■可搬質量：3kg(ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ローコスト・小型・軽量の6軸垂直多関節ロボットです。
可搬質量約3.5kgながら小型を実現しており、工場や実験室、その他各種用途での使用を目指して設計開発されたものです。 200V駆動小型ABSサーボモータと24V駆動のACサーボモータを使用し、全軸にハーモニックギアを採用しており、高性能を実現しています。 新開発の小型サーボドライバには画像センサSPSとのインターフェースを組み込んでおり、画像処理システムとの連携したシステムが極めて簡単に出来上がります。
高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持：CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク：250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動はんだ付ロボット（MINIMAX２）
多目的直交４軸ツール ●標準仕様で動作範囲300×200×100（X,Y,Z軸）を 確保し高低差のあるワークにも対応可能。 また、仕様に合わせて動作範囲をカスタマイズ可能 ●駆動モータにACサーボモータを採用しメンテナンス フリーを実現。 ●各軸はボールネジ使用により高精度な動作を可能とし、 低速移動は0.1mm/sを実現。 スライドはんだ付けの安定性とタクトタイム短縮。 ●鉛フリーはんだ付けなどに効果的なオプションである プリヒーターなどの温調器を3台まで内蔵可能。 ●ツールメカ部とコントローラー部が分離可能なので、 導入後のインライン化及びセル化にも簡単に対応可能。 ●ツール部は直線、円弧捕間ができ、多様なスライド はんだ付け、ポイントはんだ付けに対応可能。 ●コントローラーは多機能なMAXEEDを搭載。 はんだ付け管理ソフト”TSCO"とも接続可能。
ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。
スーパークリーンルーム用300mm対応MTCR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。
スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
1豊富なバリエーション 2ボールネジ高性能タイプISBシリーズ追加 3使い易さアップ 4省スペース化が可能なマルチスライダ
単軸ロボットは、ベース、リニアガイド、ボールネジ、またはタイミングベルト）、ACサーボモータが一体となった高精度な位置決め装置です。 個々の部品を購入し装置を組み上げるのに比べ、設計、調整の手間が大幅に削減されるため、コストダウンが可能になります。 動作性能のアップによりサイクルタイム短縮が可能となり、生産向上に大きく貢献します。
2プレート/3プレート対応！可搬重量がアタッチメント含め8kgの中型取出ロボット
『HLIII-300SW・GW』は、中型の横走行1軸サーボタイプ取出ロボットです。 対象成形機は200～450tonで、可搬重量は8kg(アタッチメント含む)。 対応コントローラは、手になじみやすく、コンパクトな樹脂製ペンダントの 「HRS-500」となっています。 【仕様(一部)】 ■メイン上下ストローク(mm)：1100 ■メインチャック高(mm)：190 ■メイン前後ストローク(mm)：250 ■メイン最大前進位置(mm)：970 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロボットの付加軸として走行台を制御するハンドリングシステム！
『ロボトラ』は、三菱電機製ロボットRV-Sシリーズを搭載可能な 高速・高精度走行台です。 ロボットコントローラの付加軸制御機能を利用し、走行軸をロボットの 7軸目として制御するため、ティーチングボックスより直接教示することが できるなど、単独制御に比べ操作性が向上します。 【特長】 ■ロボットの付加軸として走行台を制御 ■高速性を実現 ■メンテナンスの作業性を確保 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対応コントローラは「HRS-500」！対象成形機50～220tonの取出ロボット
当社が取り扱う、横走行1軸サーボタイプ取出ロボット『HLIII-150S･G』を ご紹介します。 当製品は中型で、2プレート/3プレート対応となっています。 また、可搬重量は3kg(アタッチメント含む)。対応コントローラは5ヶ国語の 切替が可能な「HRS-500」です。 【仕様(一部)】 ■メイン上下ストローク(mm)：800 ■メインチャック高(mm)：120 ■メイン前後ストローク(mm)：150 ■メイン最大前進位置(mm)：780 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
対象成形機は850～1300ton！2プレート対応で、超大型仕様の製品をご紹介
『TRX-2100/2500/2600Si』は、トラバースタイプのサーボモータ駆動 取出ロボットです。 対象成形機は850～1300tonで、2プレート対応。可搬重量は35kgとなって おります。(アタッチメント含む) また、対応コントローラは、8.4型のXGA(1024×768)の高精彩液晶を 採用した「HRS-1500」です。 【仕様(一部)】 ■上下軸：2段昇降 ■姿勢制御(°)：90(姿勢シリンダ2連・ラック＆ピニオン駆動) ■最大可搬重量(kg)：35 ■吸着回路(標準)：2連(φ8mmチューブ) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
可搬重量はアタッチメント含め60kg！トラバースタイプの製品をご紹介
『TRX-2800/3200Si』は、超大型仕様のサーボモータ駆動取出ロボットです。 対応コントローラは持ちやすい形状かつ、軽量コンパクトな「HRS-1500」。 また、2プレート対応で、対象成形機は1400～2500tonとなっております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■上下軸：3段昇降 ■姿勢制御(°)：90(姿勢シリンダ2連・ラック＆ピニオン駆動) ■最大可搬重量(kg)：60 ■吸着回路(標準)：2連(φ8mmチューブ) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
2プレート対応！可搬重量はアタッチメントを含め90kgとなっています
当社が取り扱う、トラバースタイプのサーボモータ駆動取出ロボット 『TRX-3600/4000Si』をご紹介します。 可搬重量は90kg(アタッチメント含む)で、対象成形機は2000～4000ton。 また、対応コントローラはカラフルなLED表示で視認性もアップした 「HRS-1500」です。 【仕様(一部)】 ■上下軸：3段昇降 ■姿勢制御(°)：90(姿勢シリンダ2連・ラック＆ピニオン駆動) ■最大可搬重量(kg)：90 ■吸着回路(標準)：2連(φ8mmチューブ) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
どこでも、いますぐ、かんたんに。みんなと一緒に働くロボット。
【かたちもうごきも、安全に。】 鋭利な部分をつくらず、ユニークなアーム構造に加え、指を挟み込まないよう可動範囲も配慮。さらに、速度とトルクを監視する6つのセンサも内蔵し、機能的にも安全です。 【手の足りない場所に、今すぐに。】 コントローラを内蔵しながらも、気軽に持ち運べる約4kg。COBOTTAは、小型・軽量なため、使いたいとき、使いたい場所で、すぐに作業を始められます。 【覚えずに、教えられる簡単さ。】 アーム部を直接動かして動作を記憶させる「ダイレクトティーチング機能」をはじめ、直感的に使えるGUIや、カメラを用いたティーチング機能にも対応。これまでロボットになじみがなかった方でもすぐに使えます。 【可能性は無限に、引き出せる。】 COBOTTAは、内蔵コントローラを開放し、制御用APIを公開しているため、クリエーターが自由な開発環境でオリジナルのアプリケーションを開発できます（※OSS版）。JavaやRubyなど様々な開発言語に対応し、接続可能なデバイスも多種多様。プロの要望にも十分に応える拡張性の高さを備えています。
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能
5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
7軸構造の採用により複雑な動作を可能にする不二越（NACHI）ハンドリングロボットです！35kg可搬と55kg可搬をラインナップ
不二越製『MR35/50』は、7軸構造を採用したことによる柔軟な動作はそのままに、 先端部(手首)のトルクを大幅に増強したハンドリングロボットです。 多種多様なワークをより遠い位置まで自在にハンドリングする事が可能になりました。 サーボモータ駆動のツール用配線（2軸分）を内蔵化しており、周辺機器との 干渉がないため、レイアウトが容易です。 手首部可搬質量の違いによりMR35（可搬質量35kg）、MR50（同50kg）の 2タイプをご用意しております。 【特長】 ■障害物のある場所でのロボット適用が可能 ■より複雑な動作を可能にする7軸構造を採用 ■天吊・壁掛・傾斜設置にも対応(オプション) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
過酷な環境にも対応可能！パワフル＆コンパクトな多目的ロボット
不二越製『MC35/50/70』は、手首部は標準でIP67相当、ロボット本体は標準でIP54、 オプション使用でIP65・IP67相当の防塵防滴性能を持ったハンドリングロボットです。 最大リーチ2050mmで、強力な手首は多種多様なワークを自在に搬送します。 設置スペースがコンパクトで動作範囲も広いため、設置場所を選びません。 サーボモータ駆動のツール用配線を内蔵化しており、周辺機器との干渉が ないため、レイアウトが容易です。 手首可搬質量の違いにより3タイプをご用意しております。 【特長】 ■様々な環境に柔軟に対応 ■最大リーチ2050mm ■2系統のエア配管を装備 ■多彩なアプリケーションに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機貸出可能！】取出しタイム35％短縮！2軸サーボ駆動スイングタイプ取出ロボット
『EXZ II SERIES』は、2軸サーボ駆動のスイングタイプ取出ロボットです。 Z軸とY軸にサーボモータを採用した事により、取出しタイムを従来機より35％短縮したほか、内部金型メモリから、ティーチングデータの読み込みが可能です。 また金型交換時のストローク調整が不要となり、作業効率が向上します。 さらに新しい制御部(電装HRS-700)により操作性が向上します。 【特徴】 ○高剛性の本体ボディに制御部（電装／エアバルブ）を収納 ○金型交換時のラチェット位置を移動し、段取り時間の短縮を実現 ○姿勢部に配線内蔵式を採用し、配線の接触や断線リスクを解消 ○回転部重量を役15％軽量化 →回転シリンダのボア径強化により、回転動作の安定性向上 ○上下・前後軸にリニアガイドを採用 →ブレがなくスピーディーな動作が可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
